[发明专利]兆声清洗中晶圆转速检测装置、清洗系统及其工作过程

摘要

一种兆声清洗中晶圆转速检测装置、清洗系统及其工作过程，所述检测装置与从动带轮组件连接，包括内置于晶圆转子一端的键槽内的第二磁芯、内嵌于晶圆转子带轮套的第一磁芯、连接在从动带轮端部的计数盘和设置在计数盘侧边的转速传感器。所述第二磁芯位于装置的中心位置、第一磁芯位于第二磁芯的一侧，且两者呈异性放置。本发明解决了现有技术中长期存在的问题，采用这种装置，可快速、精确、有效地完成晶圆旋转检测，结构简单，使用方便，而且成本低，有利于提高工作效率和质量，可广泛应用于晶圆的化学机械抛光（CMP）、减薄等领域。

主权项

1.一种应用兆声清洗中晶圆转速检测装置的清洗系统，包括兆声清洗槽、连接在兆声清洗槽上的兆声发生装置（9）以及设置在兆声清洗槽内的第一主动带轮（5）、第二主动带轮（6）和从动带轮组件（7），其特征在于：所述从动带轮组件（7）包括晶圆转子（73），所述晶圆转子（73）为柱形，其一端中心沿长向开有柱形键槽形成键槽段、另一端沿环向开有卡接晶圆的卡槽形成卡槽段、且键槽段和卡槽段两者之间通过过渡段连接，所述晶圆转子（73）的键槽段外侧依次套接有晶圆转子护罩（72）、晶圆转子带轮套（74）和从动带轮（71），其中晶圆转子带轮套（74）上开有键槽；还包括检测装置；所述检测装置与从动带轮组件（7）连接，包括内置于晶圆转子（73）一端的键槽内的第二磁芯（19）、内嵌于晶圆转子带轮套（74）的第一磁芯（18）、连接在从动带轮（71）端部的计数盘（17）和设置在计数盘（17）侧边的转速传感器（16）；所述第二磁芯（19）位于装置的中心位置、第一磁芯（18）位于第二磁芯（19）的一侧，且两者呈异性放置；所述检测装置的第二磁芯（19）为柱形、沿晶圆转子长向内置于晶圆转子（73）的键槽内，第一磁芯（18）为条形、沿晶圆转子带轮套长向内嵌于晶圆转子带轮套（74）的键槽内。