[发明专利]一种电子显微镜断层成像方法及系统

摘要

本发明公开了一种电子显微镜断层成像方法及系统，所述方法包括：步骤1，系统复位；步骤2，采集投影及其参数；步骤3，根据步骤23采集到的投影及其参数，重建出待测样品的层析图像。本发明能够在成像范围内对投影参数进行选取，即精确控制待测样品处于不同的角度组合(alphai,phij)，并在选取的投影参数状态下自动采集待测样品的投影，因此可以同时实现对待测样品的单倾斜和锥倾斜成像的全自动数据采集过程，为快速获取待测样品的层析图像提供了有利条件。

主权项

1.一种电子显微镜断层成像方法，其特征在于，包括：步骤1，系统复位，该步骤具体包括：步骤11，将样品台的中心调整至位于电子显微镜的主光轴上；步骤12，将置于样品台上的待测样品调整为零状态；步骤2，采集投影及其参数，该步骤具体包括：步骤21，采集待测样品在零状态下的透射图像，并在该透射图像上选取感兴趣区域的中心在三维坐标系中的坐标值(u,v,w)，该三维坐标系的原点是样品台上表面的中心点，(u，v)所在的平面平行样品台的上表面，u和v的方向相互垂直，w的方向为样品台的法线方向；步骤22，根据所有需要采集的投影参数中的角度组合(alphai,phij)，计算对应每一个角度组合(alphai,phij)下的感兴趣区域的中心(u,v,w)相对于电子显微镜的主光轴的偏移量(Δu,Δv,Δw)；步骤23，控制样品台按照步骤22中的每一个角度组合(alphai,phij)旋转以及按照与每一个角度组合(alphai,phij)相对应的偏移量(Δu,Δv,Δw)进行补偿运动，以使感兴趣区域的中心(u,v,w)始终位于电子显微镜的主光轴上，同时采集待测样品处于每一个状态(alphai,phij，u,v,w)下的投影；步骤3，根据步骤23采集到的投影及其参数，重建出待测样品的层析图像。