[发明专利]一种STT-MRAM存储单元有效
申请号: | 201611201099.7 | 申请日: | 2016-12-22 |
公开(公告)号: | CN106783862B | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 王真;何岳巍;胡少杰;闵泰 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H01L27/22 | 分类号: | H01L27/22 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陆万寿 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开一种STT‑MRAM存储单元,包括晶体管和MTJ单元;晶体管建立在基底上,晶体管的漏极与MTJ单元通过金属线达到漏接触;MTJ单元包括内电极和包裹在内电极外周的种子层、铁磁性钉扎层、非磁性势垒层、铁磁性自由层和外电极;金属线与内电极连接;种子层、铁磁性钉扎层、非磁性势垒层、铁磁性自由层和外电极均与基底所在平面不平行;种子层、铁磁性钉扎层、非磁性势垒层、铁磁性自由层和外电极与金属线间隔设置。本发明中MTJ单元的设置形式将热稳定系数Δ随原本的平面结构尺寸的平方变化关系减弱为线性变化,可以用高度补偿,有利于MTJ小型化。本发明可有效的利用空间,保证良好的热稳定性,提高存储密度,提供多种存储模式,对20nm技术节点以下的存储器具有应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 stt mram 存储 单元 | ||
【主权项】:
一种STT‑MRAM存储单元,其特征在于,包括晶体管(101)和MTJ单元(200);晶体管(101)建立在基底(100)上,晶体管(101)的漏极(103b)与MTJ单元(200)通过金属线(106)达到漏接触;MTJ单元(200)包括内电极(204)和包裹在内电极(204)外周的种子层(212)、铁磁性钉扎层(203)、非磁性势垒层(202)、铁磁性自由层(201)和外电极(205);金属线(106)与内电极(204)连接;种子层(212)、铁磁性钉扎层(203)、非磁性势垒层(202)、铁磁性自由层(201)和外电极(205)均与基底(100)所在平面不平行;种子层(212)、铁磁性钉扎层(203)、非磁性势垒层(202)、铁磁性自由层(201)和外电极(205)与金属线(106)间隔设置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学,未经西安交通大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201611201099.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的