[发明专利]一种透射光栅有效

专利信息
申请号: 201611184567.4 申请日: 2016-12-20
公开(公告)号: CN106597588B 公开(公告)日: 2019-10-18
发明(设计)人: 史丽娜;李海亮;刘子维;浦探超;牛洁斌;谢常青;刘明 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18
代理公司: 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人: 房德权
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种透射光栅,所述透射光栅包括:不透光薄膜及N个透光狭缝;其中,所述N个透光狭缝在所述不透光薄膜上呈周期分布,且所述透光狭缝的大小与所述狭缝的分布周期之间具有预设的比例;所述狭缝沿所述光栅的y轴方向呈之字形;如此,因N个透光狭缝在所述不透光薄膜上呈周期分布,完全抑制了背景噪声,提高了信噪比;且所述光栅周期与所述之字形透光狭缝的大小之间按照预设的比例取值,使得所述光栅完全抑制了2级、3级、4级衍射,从而消除了谐波污染,提高了分辨率,进而确保分析结果的准确性,提高了摄谱精度;并且,由于该光栅结构简单,比已有单级衍射光栅易于加工;因透光狭缝的透光率高,提高了绝对衍射效率。
搜索关键词: 一种 透射 光栅
【主权项】:
1.一种透射光栅,其特征在于,所述透射光栅包括:不透光薄膜及N个透光狭缝;其中,所述N个透光狭缝在所述不透光薄膜上呈周期分布,且所述透光狭缝的大小与所述狭缝的分布周期之间具有预设的比例;所述狭缝沿所述光栅的y轴方向呈之字形;所述狭缝沿x轴方向的分布周期为Px,所述狭缝沿y轴方向的分布周期为Py;所述狭缝平行于x轴的宽度a与所述Px之间的比例关系为a=Px/2;所述狭缝的之字形相邻的两个转折角的顶点在x轴的投影b与所述Px之间的比例关系为b=Px/6。
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