[发明专利]一种透射光栅有效
| 申请号： | 201611184567.4 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106597588B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 史丽娜;李海亮;刘子维;浦探超;牛洁斌;谢常青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 透射 光栅 | ||
【权利要求书】：
1.一种透射光栅，其特征在于，所述透射光栅包括：不透光薄膜及N个透光狭缝；其中，
所述N个透光狭缝在所述不透光薄膜上呈周期分布，且所述透光狭缝的大小与所述狭缝的分布周期之间具有预设的比例；所述狭缝沿所述光栅的y轴方向呈之字形；
所述狭缝沿x轴方向的分布周期为Px，所述狭缝沿y轴方向的分布周期为Py；所述狭缝平行于x轴的宽度a与所述Px之间的比例关系为a＝Px/2；所述狭缝的之字形相邻的两个转折角的顶点在x轴的投影b与所述Px之间的比例关系为b＝Px/6。
2.如权利要求1所述的透射光栅，其特征在于，所述狭缝沿y轴方向的分布周期Py为0.1Px≤Py≤100Px。
3.如权利要求1所述的透射光栅，其特征在于，所述透射光栅在ξ方向的的相对衍射效率I(m)根据公式I(m)＝[sinc(ma/Px)-sinc(m(a-b)/Px)]2计算得出；其中，所述m为衍射级次。
4.如权利要求1所述的透射光栅，其特征在于，所述不透光薄膜的材料具体包括：金、银、铝、铬、硅、氮化硅或碳化硅。
5.如权利要求4所述的透射光栅，其特征在于，所述不透光薄膜的厚度为50～5000nm。
6.如权利要求4所述的透射光栅，其特征在于，所述不透光薄膜的厚度为70～150nm。
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