[发明专利]一种聚焦式阳极层离子源装置在审
| 申请号： | 201611177539.X | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106653557A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 肖更竭;周晖;赵栋才;马占吉;武生虎;郑军;徐嶺茂;桑瑞鹏 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/02;H01J49/06 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司11249 | 代理人： | 高玉滨 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种聚焦式阳极层离子源装置，包括壳体，在所述壳体内间隔相对设置有阳极环与阴极环，在所述壳体上还固定设置有进气管，所述阳极环与所述阴极环表面均为圆锥面，所述阴极环包括外阴极环与内阴极环，所述外阴极环与所述内阴极环设置在同一圆锥面内，所述阳极环表面锥面与所述阴极环表面锥面相互平行。本发明技术方案结构设计科学合理，将阳极环与阴极环均设置为平行的圆锥面，使产生的离子束向轴心方向聚焦，在聚焦点以远的距离范围形成截面为实心圆的离子束，束流密度集中且截面均匀性好，多组水冷系统的设计，保证对磁路和内阴极环的冷却效果，可延长内阴极环的使用寿命，增加离子源连续高强度工作时间和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚焦 阳极 离子源 装置 | ||
【主权项】：
一种聚焦式阳极层离子源装置，包括壳体，在所述壳体内间隔相对设置有阳极环与阴极环，在所述壳体上还固定设置有进气管，其特征在于：所述阳极环与所述阴极环表面均为圆锥面，所述阴极环包括外阴极环与内阴极环，所述外阴极环与所述内阴极环设置在同一圆锥面内，所述阳极环表面锥面与所述阴极环表面锥面相互平行。
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