[发明专利]一种聚焦式阳极层离子源装置

权利要求书

1.一种聚焦式阳极层离子源装置，包括壳体，在所述壳体内间隔相对设置有阳极环与阴极环，在所述壳体上还固定设置有进气管，其特征在于：所述阳极环与所述阴极环表面均为圆锥面，所述阴极环包括外阴极环与内阴极环，所述外阴极环与所述内阴极环设置在同一圆锥面内，所述阳极环表面锥面与所述阴极环表面锥面相互平行。

2.根据权利要求1所述的一种聚焦式阳极层离子源装置，其特征在于：所述外阴极环与所述内阴极环之间设置有环状空间，所述阳极环与所述环状空间位置相对。

3.根据权利要求1所述的一种聚焦式阳极层离子源装置，其特征在于：在所述阴极环一侧设置有磁钢，还包括水冷系统，所述水冷系统对壳体、阳极环与磁钢进行冷却。

4.根据权利要求3所述的一种聚焦式阳极层离子源装置，其特征在于：所述水冷系统包括第一水冷系统、第二水冷系统与第三水冷系统，所述第一水冷系统设置在所述壳体外侧，所述第二水冷系统与所述阳极环连接，所述第三水冷系统设置在所述磁钢周围。

5.根据权利要求4所述的一种聚焦式阳极层离子源装置，其特征在于：所述所述第二水冷系统包括阳极水冷进水管与阳极水冷出水管，所述阳极水冷进水管与所述阳极水冷出水管通过绝缘套管固定在所述壳体上，并与所述阳极环固定连接。

6.根据权利要求4所述的一种聚焦式阳极层离子源装置，其特征在于：所述第三水冷系统包括固定在壳体上的磁钢水冷进水管与磁钢水冷出水管，在所述磁钢周围，还设置有水冷空间，所述磁钢水冷进水管、水冷空间以及磁钢水冷出水管均连通设置。

7.根据权利要求1所述的一种聚焦式阳极层离子源装置，其特征在于：还包括磁轭，所述磁轭设置在所述内阴极环与所述磁钢之间。

8.根据权利要求1所述的一种聚焦式阳极层离子源装置，其特征在于：还包括盖碗件，所述盖碗件将所述内阴极环固定在所述壳体上，并与所述内阴极环形成气体缓冲空间，所述进气管与所述气体缓冲空间连通设置。

9.根据权利要求1所述的一种聚焦式阳极层离子源装置，其特征在于：还包括卡箍，所述卡箍将所述外阴极环固定在所述外壳上。

10.根据权利要求1所述的一种聚焦式阳极层离子源装置，其特征在于：所述阳极环与所述阴极环的圆锥面锥度均为150°。