[发明专利]有机电致发光器件的薄膜沉积方法及装置有效
| 申请号： | 201611168558.6 | 申请日： | 2016-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN107359277B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 李哲 | 申请（专利权）人： | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 侯武娇 |
| 地址： | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种有机电致发光器件及其薄膜沉积方法。该薄膜沉积方法，包括如下步骤：配制材料溶液：将待沉积材料溶解于溶剂中，得材料溶液；雾化装置设置：所述雾化装置包括雾化系统、腔体、真空管和支撑板；沉积：将所述基板放置于所述支撑板上，开启真空装置，经真空管对所述腔体进行抽真空处理，同时所述材料溶液经所述雾化系统雾化，进而沉积于所述基板。本发明的有机电致发光器件的薄膜沉积方法，利用真空和喷雾处理相配合的方式进行机电致发光器件的薄膜的沉积，无需对待沉积材料进行高温加热升华，可适用于不易升华或者容易热分解的材料。同时，喷雾形成的液滴较小，且真空环境使溶剂可以均匀挥发，因此形成的薄膜厚度均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 电致发光 器件 薄膜 沉积 方法 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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