[发明专利]有机电致发光器件的薄膜沉积方法及装置

权利要求书

1.一种有机电致发光器件的薄膜沉积方法，所述有机电致发光器件包括用于沉积所述薄膜的基板，其特征在于，包括如下步骤：

配制材料溶液：将待沉积材料溶解于溶剂中，得材料溶液；所述待沉积材料为相对分子质量大于500的有机材料，所述材料溶液中所述待沉积材料的浓度为10^-3g/L～10^-1g/L；

沉积：将所述材料溶液在真空度为10^-3～0.1bar，且温度为30～80℃的环境下雾化形成雾化液滴，进而沉积于所述基板，其中，所述雾化液滴的平均直径不超过5微米。

2.根据权利要求1所述的有机电致发光器件的薄膜沉积方法，其特征在于，所述沉积步骤中，将所述材料溶液在真空度为10^-2～0.1bar，且温度为30～50℃的环境下雾化形成雾化液滴。

3.根据权利要求1或2所述的有机电致发光器件的薄膜沉积方法，其特征在于，所述溶剂中至少包括一种沸点低于100℃的溶剂。

4.根据权利要求1或2所述的有机电致发光器件的薄膜沉积方法，其特征在于，所述薄膜为空穴注入层、空穴传输层、发光层中的一种或多种。