[发明专利]有机电致发光器件的薄膜沉积方法及装置

说明书

本发明涉及一种有机电致发光器件及其薄膜沉积方法。该薄膜沉积方法，包括如下步骤：配制材料溶液：将待沉积材料溶解于溶剂中，得材料溶液；雾化装置设置：所述雾化装置包括雾化系统、腔体、真空管和支撑板；沉积：将所述基板放置于所述支撑板上，开启真空装置，经真空管对所述腔体进行抽真空处理，同时所述材料溶液经所述雾化系统雾化，进而沉积于所述基板。本发明的有机电致发光器件的薄膜沉积方法，利用真空和喷雾处理相配合的方式进行机电致发光器件的薄膜的沉积，无需对待沉积材料进行高温加热升华，可适用于不易升华或者容易热分解的材料。同时，喷雾形成的液滴较小，且真空环境使溶剂可以均匀挥发，因此形成的薄膜厚度均匀。

技术领域

本发明涉及显示器技术领域，特别是涉及有机电致发光器件的薄膜沉积方法及装置。

背景技术

目前有机电致发光器件的制备方式主要包含两类：一类是真空热蒸镀，另一类是溶液印刷。

当采用真空热蒸镀工艺时，材料在高真空状态下被加热升华成气态，气态的材料分子或者分子团簇在真空环境下扩散运动至基板表面发生沉积，当基板处于均匀的蒸镀材料蒸汽氛围之下时，即可获得均匀的薄膜。采用蒸镀工艺的优点是容易获得厚度分布十分均匀的薄膜。但该方法需要对材料进行高温加热使其升华来进行薄膜沉积，因此对于一些不易升华或者容易热分解的材料来说该方法并不适用。

当采用溶液印刷的工艺时，材料被溶于一定的溶剂或者溶剂组合形成溶液，溶液以印刷工艺铺展于基板表面，经过真空干燥、烘烤等步骤使溶剂挥发，留下固体形式的溶质薄膜。采用印刷工艺的优点是无需对材料进行真空加热，但在溶液的干燥过程中，因涉及到复杂的溶剂挥发及溶质流动控制，而难以保证材料分子或分子团簇堆积成薄膜的均匀性。

发明内容

基于此，有必要提供一种无需对材料进行高温加热的同时，能够获得厚度均匀的薄膜的有机电致发光器件的薄膜沉积方法。

一种有机电致发光器件的薄膜沉积方法，所述有机电致发光器件包括用于沉积所述薄膜的基板，包括如下步骤：

配制材料溶液：将待沉积材料溶解于溶剂中，得材料溶液；

沉积：将所述材料溶液在真空度为10^-6～0.5bar的环境下雾化形成雾化液滴，进而沉积于所述基板。

本发明的薄膜沉积方法，将待沉积的材料溶于溶剂，形成材料溶液，然后进行雾化，同时进行抽真空以形成真空环境，使雾化后的材料溶液形成的微液滴在向基板运动的过程中，微液滴中的溶剂在真空作用下不断挥发，微液滴体积不断减小，溶剂挥发后形成的溶剂分子蒸汽被真空装置抽走(可进行冷凝收集)，而微液滴在达到基板之前，其中的溶剂基本挥发完全而剩下材料溶质颗粒在重力的作用下继续向基板运动，进而沉积在基板上形成薄膜。其中，需要对真空度进行合理控制，如真空度过大则雾化液滴容易被抽走，造成材料的损耗，也无法进行有效的沉积，如真空度过小，则溶剂分子难以被抽走，影响薄膜沉积的均匀性。

由此，本发明利用真空和喷雾处理相配合的方式进行机电致发光器件的薄膜的沉积，无需对待沉积材料进行高温加热升华，可适用于不易升华或者容易热分解的材料。同时，喷雾形成的喷雾液滴尺寸小，且合适的真空环境能够使溶剂可以均匀挥发，且挥发完全，因此形成的薄膜厚度均匀。

在其中一个实施例中，所述沉积步骤中，将所述材料溶液在真空度为10^-3～0.1bar，且温度为30～80℃的环境下雾化形成雾化液滴。合理控制腔体内的温度和真空度，能够促使溶剂挥发完全，提高薄膜的均匀性。优选为将所述材料溶液在真空度为10^-2～0.1bar，且温度为30～50℃的环境下雾化形成雾化液滴。

在其中一个实施例中，所述待沉积材料为相对分子质量大于500的有机材料。选择适当相对分子量的待沉积材料，能够促使溶质的沉积，减小损耗。