[发明专利]一种有机发光显示面板及其制作方法

摘要

本发明涉及一种有机发光显示面板及其制作方法，其采用原子层沉积工艺在基本结构的周向侧面上形成一个完全覆盖周向侧面的水汽阻隔膜层，形成的水汽阻隔膜层的水氧阻隔效果和颗粒覆盖性更好，能够更有效防止水氧从薄膜封装结构的侧面侵入，并且本发明的有机发光显示面板的制作方法，操作非常简单方便，适合工业化。

主权项

1.一种有机发光显示面板，其具有一基本结构，所述基本结构包括：阵列基板，所述阵列基板具有相对设置的第一阵列基板面和第二阵列基板面；电致发光结构，设置于所述阵列基板的第一阵列基板面之上；以及，薄膜封装结构，其设置于所述电致发光结构背离所述阵列基板的一侧，且用于封装所述电致发光结构，所述薄膜封装结构包括两无机膜层的直接接触区域，所述直接接触区域在所述阵列基板上的投影落入所述阵列基板的非显示区内；所述基本结构具有周向的侧面，其特征在于：所述有机发光显示面板还包括一水汽阻隔膜层，所述水汽阻隔膜层完全覆盖所述基本结构的周向的侧面，所述基本结构具有位于所述薄膜封装结构背离所述阵列基板一侧之上的第一表面，和位于所述阵列基板的第二阵列基板面一侧之下的第二表面；所述水汽阻隔膜层从所述周向的侧面向所述第一表面延伸至部分覆盖所述第一表面；所述水汽阻隔膜层在所述第一表面的覆盖区域在所述阵列基板上的投影落入所述阵列基板的非显示区内并与两无机膜层的所述直接接触区域交叠；所述水汽阻隔膜层从所述周向的侧面向所述第二表面延伸并且完全覆盖所述第二表面；所述水汽阻隔膜层为原子层沉积薄膜；所述水汽阻隔膜层的厚度为30nm～90nm；所述原子层沉积薄膜沉积时，在所述第一表面贴覆一层部分覆盖所述第一表面的保护膜，所述保护膜的外周缘与所述第一表面的外周缘之间有留空，且所述保护膜在所述阵列基板上的投影覆盖所述阵列基板的显示区；进行原子层沉积工艺时所获得的产品上整体地形成一层将其完全包裹的水汽阻隔膜层；所述水汽阻隔膜层在所述第一表面的厚度大于所述保护膜的厚度；所述原子层沉积薄膜沉积完后，去除所述保护膜。