[发明专利]一种电泳共沉积制备陶瓷结合剂超细磨料抛光盘的方法

摘要

本发明提供一种电泳共沉积制备陶瓷结合剂超细磨料抛光盘的方法。该方法首先将超细磨料和超细陶瓷粉加入到有机溶剂中，通过磁力搅拌和超声分散将其制备成颗粒均匀分散的悬浮液；再向悬浮液中添加高价金属阳离子，使分散均匀的颗粒带上正电荷；然后通过电泳共沉积的方法，使溶液中的带电颗粒均匀地沉积在阴级基板上；最后将风干后的基板放入箱式电阻炉中进行固化烧结，制备出陶瓷结合剂超细磨料抛光盘。本发明提供的抛光盘制备方法简单易行且成本低廉，不仅能使超细磨料均匀分散在陶瓷结合剂中，而且涂层厚度可控，能沉积在异形基体上。该方法制备的抛光盘在半导体晶圆的高效超精密加工领域具有良好的应用前景。

主权项

一种电泳共沉积制备陶瓷结合剂超细磨料抛光盘的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)电泳悬浮液的配置：将超细磨料和超细陶瓷粉加入到有机溶剂中，通过磁力搅拌和超声振动，使其分散均匀成为悬浮液；然后向该悬浮液中添加高价金属盐溶液，并搅拌均匀；其中，超细磨料与超细陶瓷粉的体积比为1:1～1:5；悬浮液的浓度为0.1‑10wt％；高价金属盐浓度为0.05‑0.25wt％；(2)电泳共沉积：将配置好的悬浮液倒入电泳槽中，圆形不锈钢盘作为电泳的阴极，电泳槽的底板作为电泳的阳极，接通直流电源进行电泳；电泳沉积的电压为20‑100V，极板间距为1‑10cm，沉积时间为10‑30min；(3)固化烧结：将表面已经均匀沉积涂层的不锈钢基盘，放入箱式电阻炉中进行固化烧结，得到磨料在结合剂中均匀分布的抛光盘；烧结温度为500‑600℃，保温时间为20‑40min。