[发明专利]一种肖特基二极管T型阳极接触空气桥电极制作方法

摘要

本发明是一种肖特基二极管T型阳极接触空气桥电极制作方法：包括在轻掺杂半导体材料上光刻出A直径的阳极接触孔；在A直径阳极接触孔上套刻出B直径阳极接触孔；采用蒸发剥离工艺形成T型阳极接触金属；光刻形成空气桥下层胶；光刻形成空气桥上层胶；采用蒸发剥离工艺形成空气桥金属,连接T型阳极接触金属与阳极电极板,完成肖特基二极管T型阳极接触空气桥电极制作；优点：采用T型阳极空气桥电极制作方法,可有效降低阳极电极寄生电容,提升肖特基二极管截止频率。

主权项

1.一种肖特基二极管T型阳极接触空气桥电极制作方法，其特征是包括以下步骤：/n1）在轻掺杂半导体外延材料上旋涂第一层光刻胶，并光刻出A直径的第一层圆形阳极接触孔；/n2）在第一层光刻图形上旋涂第二层光刻胶，并光刻出B直径的第二层阳极接触孔，使其圆心与第一层光刻的阳极接触孔圆心重合；B直径大于A直径；/n3）蒸发阳极肖特基接触金属，并用有机溶剂丙酮将两层光刻胶去除，同时剥离出T型阳极接触金属；/n4）旋涂光刻胶并光刻，使阳极接触孔以及阳极电极板图形无光刻胶，而空气桥下方有光刻胶作为支撑；光刻胶旋涂厚度为0.2微米到6微米，光刻出阳极接触孔，使其圆心与T型阳极接触金属圆心重合，直径小于T型阳极接触金属上层圆盘直径，同时光刻出阳极电极板图形，距离T型阳极接触金属1微米到50微米；/n5）形成空气桥以及阳极电极板上层胶图形；/n6）蒸发空气桥及阳极电极板金属，并用有机溶剂丙酮将两层光刻胶去除，同时剥离出阳极电极板以及连接电极板与T型阳极接触金属的空气桥结构，完成肖特基二极管T型阳极接触空气桥电极制作。/n