[发明专利]一种具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备方法

摘要

本发明公开了一种具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备方法，属于光电子技术领域，本发明利用机械加工、3D打印或者注塑等工艺制备表面具有条形微结构的滚轮，利用真空蒸镀技术在弹性薄膜表面蒸镀金属薄膜作为金属间隔层，最后利用滚轮滚动工艺将柔性薄膜电子器件粘贴在弹性薄膜表面，制备具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件。本发明所提出的这种具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备方法，适用于具有不同材料、厚度和功能的柔性薄膜电子器件，褶皱形貌可控，制备成本低，速度快，生产效率高，器件性能均一稳定，因此更加适合商业化生产。

主权项

一种具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：(1)、制备表面具有条形微结构的滚轮；(2)、采用真空蒸镀方法制备表面具有金属间隔层的弹性薄膜；(3)、柔性薄膜电子器件的制备；(4)、具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备；将步骤(2)中制备的具有金属间隔层的弹性薄膜拉伸到50％‑500％应变量，并保持拉伸状态，然后用步骤(1)中制备的表面具有条形微结构的滚轮将步骤(3)制备得到的柔性薄膜电子器件粘贴在弹性薄膜表面，使柔性薄膜电子器件的柔性衬底与弹性薄膜接触，其中，柔性薄膜电子器件上受到滚轮条形结构压力的部分可以与弹性薄膜粘合，而柔性薄膜电子器件上没有受到滚轮条形结构压力的部分不会与弹性薄膜粘合，最后释放拉力，弹性薄膜收缩，收缩力使柔性薄膜电子器件上没有与弹性薄膜粘合的部分发生弯曲，并向上拱起，从而完成具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备。