[发明专利]一种具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备方法

权利要求书

1.一种具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：

(1)、制备表面具有条形微结构的滚轮；

(2)、采用真空蒸镀方法制备表面具有金属间隔层的弹性薄膜；

(3)、柔性薄膜电子器件的制备；

(4)、具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备；

将步骤(2)中制备的具有金属间隔层的弹性薄膜拉伸到50％-500％应变量，并保持拉伸状态，然后用步骤(1)中制备的表面具有条形微结构的滚轮将步骤(3)制备得到的柔性薄膜电子器件粘贴在弹性薄膜表面，使柔性薄膜电子器件的柔性衬底与弹性薄膜接触，其中，柔性薄膜电子器件上受到滚轮条形结构压力的部分可以与弹性薄膜粘合，而柔性薄膜电子器件上没有受到滚轮条形结构压力的部分不会与弹性薄膜粘合，最后释放拉力，弹性薄膜收缩，收缩力使柔性薄膜电子器件上没有与弹性薄膜粘合的部分发生弯曲，并向上拱起，从而完成具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备。

2.如权利 要求1所述的一种具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备方法，其特征在于：步骤(1)中所述的滚轮的材料为聚四氟乙烯、聚苯乙烯、聚乙烯、聚酰亚胺等塑料或不锈钢、铜、铝等金属。

3.如权利 要求1所述的一种具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备方法，其特征在于：步骤(1)中所述滚轮的直径为5mm～500mm，滚轮的长度为1cm～100cm；条形微结构的宽度为100um～2000um，条形微结构的间距为100um～3000um，条形微结构的深度为50um～1000um。

4.如权利 要求1所述的一种具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备方法，其特征在于：步骤(1)中所述制备表面具有条形微结构的滚轮采用车床加工、3D打印或注塑。

5.如权利 要求1所述的一种具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备方法，其特征在于：步骤(2)中所述的弹性薄膜为聚二甲基硅氧烷、聚氨酯丙烯酸酯或共聚酯，弹性薄膜的厚度为0.5mm-2mm；所述的金属间隔层为金、银、铜、铝或铁，金属间隔层的厚度为10nm-2000nm。

6.如权利要求1所述的一种具有规则褶皱结构的可拉伸电子器件的制备方法，其特征在于：步骤(3)中所述的柔性薄膜电子器件的制备包括真空蒸镀、旋涂、化学气相沉积或分子束外延过程，所述的器件可以是发光器件、太阳能电池、晶体管、集成电路或传感器；柔性薄膜电子器件的柔性衬底为Norland Optical Adhesive(NOA)系列、Nano MicroChem Company epoxy negative resin(SU-8)系列、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚萘二甲酸乙二醇酯。