[发明专利]一种透射电镜样品杆真空存储与测试装置

摘要

一种透射电镜样品杆真空存储与测试装置属于透射电子显微镜真空配件领域。在样品杆存储的同时，可对样品杆进行通电，加热测试。该装置包括可移动机架，真空泵系统，真空测量与显示系统，真空罩，阀门系统，样品杆存储组件及堵塞。该装置可同时存储多根的样品杆，并预留增加窗口。该装置可在5分钟内将腔体内气压从空气气压抽到4×10‑4Pa，极限真空可达5×10‑5Pa。该装置可以有效避免样品杆在外界放置时受到污染或侵蚀而污染电镜，大幅度缩短样品杆在电镜中的预抽时间，使电镜更快达到稳定的真空度，增加样品杆的使用寿命。本装置操作方便，真空度好，易于添加样品杆存储工位，适用于不同类型的透射电镜样品杆使用。

主权项

1.一种用于透射电镜样品杆的真空存储与测试装置，其特征在于：该装置包括可移动机架，真空泵系统，真空测量组件与显示系统，阀门系统，真空罩，样品杆存储组件及堵塞；所述的真空泵系统包括涡旋干泵与分子泵，可移动机架上设置分子泵，分子泵通过前级阀与涡旋干泵连接，涡旋干泵通过预抽阀和主管道连接；所述的真空罩用于连接主阀，并连接分子泵与电离规；电离规安装在真空罩上通过真空计显示，电阻规安装在主管道通过真空计显示；所述的阀门系统包括前级阀、预抽阀、主阀、放气阀，前级阀用于控制涡旋干泵与分子泵之间连通/断开，预抽阀用于控制涡旋干泵与样品杆存储组件连通/断开，主阀用于控制分子泵与样品杆存储组件连通/断开，放气阀用于插拔样品杆时排气，便于拔出样品杆；所述的样品杆存储组件主管道上设有多个工位，支撑法兰管套与主管道通过螺钉连接，两者之间装有密封圈保证真空，玻璃管嵌入主管道，外接法兰套管通过螺钉与管道主体连接；主管道、玻璃管与外接法兰套管三者之间真空密封。