[发明专利]一种透射电镜样品杆真空存储与测试装置

权利要求书

1.一种用于透射电镜样品杆的真空存储与测试装置，其特征在于：该装置包括可移动机架，真空泵系统，真空测量组件与显示系统，阀门系统，真空罩，样品杆存储组件及堵塞；

所述的真空泵系统包括涡旋干泵与分子泵，可移动机架上设置分子泵，分子泵通过前级阀与涡旋干泵连接，涡旋干泵通过预抽阀和主管道连接；

所述的真空罩用于连接主阀，并连接分子泵与电离规；电离规安装在真空罩上通过真空计显示，电阻规安装在主管道通过真空计显示；

所述的阀门系统包括前级阀、预抽阀、主阀、放气阀，前级阀用于控制涡旋干泵与分子泵之间连通/断开，预抽阀用于控制涡旋干泵与样品杆存储组件连通/断开，主阀用于控制分子泵与样品杆存储组件连通/断开，放气阀用于插拔样品杆时排气，便于拔出样品杆；

所述的样品杆存储组件主管道上设有多个工位，支撑法兰管套与主管道通过螺钉连接，两者之间装有密封圈保证真空，玻璃管嵌入主管道，外接法兰套管通过螺钉与管道主体连接；主管道、玻璃管与外接法兰套管三者之间真空密封。

2.应用如权利要求1所述装置的方法，其特征在于，所述的堵塞上装有密封圈，密封圈规格与样品杆上密封圈规格相同，用于将样品杆取出后，替代样品杆插入并密封支撑法兰套管。

3.应用如权利要求1所述装置的方法，其特征在于，初次使用时，将多个样品杆依次插入对应工位，当样品杆数目不够，用堵塞代替样品杆，保证样品杆存储组件密封；

打开涡旋干泵和前级阀，将分子泵抽至10Pa以下，打开分子泵，待分子泵工作后，关闭前级阀和打开预抽阀，当样品杆存储组件真空低于7Pa时，关闭预抽阀，打开前级阀和主阀，在5分钟之内将样品杆存储组件抽至4×10^-4Pa以下；

需要使用样品杆时，关闭主阀，打开放气阀，将样品杆拔出，插入堵塞，关闭放气阀，打开预抽阀，将样品杆存储组件预抽至7Pa以下，当真空度低于7Pa时，关闭预抽阀，打开前级阀后，打开主阀，5分钟内将系统抽至4×10^-4Pa以下。