[发明专利]具有特定膜片结构的激光封闭

摘要

本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在衬底或在罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，其中，‑在第二方法步骤中，调节在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其中，在基本上平行于衬底的主延伸平面走向并且布置在进入开口的基本上垂直于主延伸平面构造的区域的背离第一空穴的一侧上的第一平面和基本上平行于衬底的主延伸平面走向并且布置在进入开口的基本上垂直于主延伸平面构造的区域的面向第一空穴的一侧上的第二平面之间，进入开口通过衬底或罩的在第三方法步骤中过渡到液态聚集态的材料区域基本上完全被填充。

主权项

用于制造微机械构件(1)的方法，该微机械构件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤(101)中，在所述衬底(3)或所述在罩(7)中构造连接第一空穴(5)与所述微机械构件(1)周围环境(9)的进入开口(11)，其中，‑在第二方法步骤(102)中，调节在所述第一空穴(5)中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤(103)中，通过借助于激光将能量或热量引入到所述衬底(3)或所述罩(7)的吸收部分(21)中来封闭所述进入开口(11)，其特征在于，在基本上平行于所述衬底(3)的主延伸平面(100)走向并且布置在所述进入开口(11)的基本上垂直于所述主延伸平面(100)构造的区域的背离所述第一空穴(5)的一侧上的第一平面和基本上平行于所述衬底(3)的主延伸平面(100)走向并且布置在所述进入开口(11)的基本上垂直于所述主延伸平面(100)构造的区域的面向所述第一空穴(5)的一侧上的第二平面之间，所述进入开口(11)通过所述衬底(3)或所述罩(7)的在所述第三方法步骤中(103)中过渡到液态聚集态的材料区域(13)基本上完全地被填充。