[发明专利]具有特定膜片结构的激光封闭

权利要求书

1.用于制造微机械构件(1)的方法，该微机械构件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，

-在第一方法步骤(101)中，在所述衬底(3)或所述在罩(7)中构造连接第一空穴(5)与所述微机械构件(1)周围环境(9)的进入开口(11)，其中，

-在第二方法步骤(102)中，调节在所述第一空穴(5)中的第一压力和/或第一化学组分，其中，

-在第三方法步骤(103)中，通过借助于激光将能量或热量引入到所述衬底(3)或所述罩(7)的吸收部分(21)中来封闭所述进入开口(11)，其特征在于，

在基本上平行于所述衬底(3)的主延伸平面(100)走向并且布置在所述进入开口(11)的基本上垂直于所述主延伸平面(100)构造的区域的背离所述第一空穴(5)的一侧上的第一平面和基本上平行于所述衬底(3)的主延伸平面(100)走向并且布置在所述进入开口(11)的基本上垂直于所述主延伸平面(100)构造的区域的面向所述第一空穴(5)的一侧上的第二平面之间，所述进入开口(11)通过所述衬底(3)或所述罩(7)的在所述第三方法步骤中(103)中过渡到液态聚集态的材料区域(13)基本上完全地被填充。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，这样将能量和热量引入到所述衬底(3)或所述罩(7)的吸收部份(21)中，使得所述第一平面基本上沿着所述衬底(3)或所述罩(7)的背离所述第一空穴(5)的表面(1011)地走向。

3.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中，这样将能量和热量引入到所述衬底(3)或所述罩(7)的吸收部份(21)中，使得所述第二平面基本上沿着所述衬底(3)或所述罩(7)的面向所述第一空穴(5)的表面(1013)地走向。

4.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中，这样将能量和热量引入到所述衬底(3)或所述罩(7)的吸收部份(21)中，使得所述材料区域(13)在第三步骤之前具有从所述第一平面到所述第二平面的延伸尺度。

5.微机械构件(1)，所述微机械构件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力和包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，所述衬底(3)或所述罩(7)包括封闭的进入开口(11)，其特征在于，

在基本上平行于所述衬底(3)的主延伸平面(100)走向并且布置在所述进入开口(11)的基本上垂直于所述主延伸平面(100)构造的区域的背离所述第一空穴(5)的一侧上的第一平面和基本上平行于所述衬底(3)的主延伸平面(100)走向并且布置在所述进入开口(11)的基本上垂直于所述主延伸平面(100)构造的区域的面向所述第一空穴(5)的一侧上的第二平面之间，所述进入开口(11)通过所述衬底(3)或所述罩(7)的在封闭所述进入开口(11)时过渡到液态聚集态的材料区域(13)基本上完全地被填充。

6.根据权利要求5所述的微机械构件(1)，其中，所述第一平面基本上沿着所述衬底(3)或所述罩(7)的背离所述第一空穴(5)的表面(1011)地走向。

7.根据权利要求5或6所述的微机械构件(1)，其中，所述第二平面基本上沿着所述衬底(3)或所述罩(7)的面向所述第一空穴(5)的表面(1013)地走向。

8.根据权利要求5、6或7所述的微机械构件(1)，其中，所述材料区域(13)在封闭所述进入开口(11)之前具有从所述第一平面到所述第二平面的延伸尺度。

9.根据权利要求5、6、7或8所述的微机械构件(1)，其中，所述罩(7)与所述衬底(3)包围第二空穴，其中，在所述第二空穴中存在第二压力并且包含具有第二化学组分的第二气体混合物。

10.根据权利要求5、6、7、8或9所述的微机械构件(1)，其中，所述第一压力小于所述第二压力，其中，用于转速测量的第一传感单元布置在所述第一空穴(5)中，并且用于加速度测量的第二传感单元布置在第二空穴中。