[发明专利]一种高温太阳光谱选择性吸收薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201611101272.6 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN108613423A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 李世杰;米菁;郝雷;于庆河;杜淼;杨海龄;刘晓鹏;蒋利军 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | F24S70/25 | 分类号： | F24S70/25;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青;熊国裕 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温太阳光谱选择性吸收薄膜及其制备方法。该薄膜由沉积在基底上的金属红外高反射层、扩散阻挡层、吸收层和减反射层依次组成，其中金属红外高反射层为金属Ti、Cr、Al或Cu中的一种；扩散阻挡层为Cr2O3；吸收层为金属和陶瓷的复合材料，其中第一吸收层中金属的体积分数大于第二吸收层中金属的体积分数；减反射层为Cr2O3。其制备方法为：采用直流或中频反应溅射制备薄膜，针对不同的膜层材料通过控制气体流量和溅射功率控制其成分和含量。本发明的薄膜结构简单，金属粒子高温稳定性佳，吸收层在高温使用过程中膜层稳定不易紊乱，可广泛应用于太阳能中高温光热利用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 吸收层 金属 制备 太阳光谱选择性 红外高反射层 扩散阻挡层 减反射层 体积分数 吸收薄膜 薄膜 控制气体流量 中频反应溅射 高温稳定性 薄膜结构 采用直流 高温使用 光热利用 溅射功率 金属粒子 膜层材料 复合材料 中高温 中膜层 沉积 基底 紊乱 太阳能 陶瓷 应用 | ||
【主权项】：
1.一种高温太阳光谱选择性吸收薄膜，其特征在于，该薄膜由沉积在基底上的金属红外高反射层、扩散阻挡层、吸收层和减反射层依次组成，其中金属红外高反射层为金属Ti、Cr、Al或Cu中的一种；扩散阻挡层为Cr2O3；吸收层为金属和陶瓷的复合材料，其中第一吸收层中金属的体积分数大于第二吸收层中金属的体积分数；减反射层为Cr2O3。
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