[发明专利]集成太阳能电池的OLED显示装置及其制造方法及OLED手表

摘要

本发明涉及一种集成太阳能电池的OLED显示装置及其制造方法及OLED手表。所述集成太阳能电池的OLED显示装置包括OLED区域和太阳能电池区域，所述集成太阳能电池的OLED显示装置的制造方法中，OLED区域的TFT第一导电类型半导体太阳能电池区域的太阳能电池第一导电类型半导体，为第一导电类型的半导体材料层通过一道光刻和刻蚀工艺分别形成；OLED区域的OLED阴极和太阳能电池区域的太阳能电池第二极性电极，也为金属层通过一道光刻和刻蚀工艺分别形成。故可以分别减少一道光刻和刻蚀工艺及减少一块光刻版，从而节省制程时间及成本。

主权项

1.一种集成太阳能电池的OLED显示装置的制造方法，其特征在于，所述集成太阳能电池的OLED显示装置包括OLED区域和太阳能电池区域，所述方法包括：提供具有相对的两面的基板，在所述基板的第一面的太阳能电池区域形成太阳能电池第一极性电极；在所述基板的第一面形成第一导电类型的半导体材料层，并通过光刻和刻蚀分别在所述OLED区域形成薄膜晶体管第一导电类型半导体，和在所述太阳能电池区域形成位于所述太阳能电池第一极性电极上的太阳能电池第一导电类型半导体；所述薄膜晶体管第一导电类型半导体作为薄膜晶体管的源极和漏极；在所述太阳能电池第一导电类型半导体上形成第二导电类型半导体材料层；所述第一导电类型和所述第二导电类型为相反的导电类型；在所述薄膜晶体管第一导电类型半导体上继续完成其余OLED结构的制备，并在所述第二导电类型半导体材料层上继续完成其余太阳能电池结构的制备，具体包括：在所述薄膜晶体管第一导电类型半导体上形成栅氧层，在所述栅氧层上形成金属栅极、同时作为电容的下极板，在所述金属栅极上形成第一绝缘层，在所述第一绝缘层上形成金属极板作为电容的上极板，在所述第一绝缘层和金属极板上形成第二绝缘层；刻蚀形成接触孔，包括形成所述薄膜晶体管的源极、漏极及所述金属栅极的接触孔，以及贯穿所述第二导电类型半导体材料层和太阳能电池第一导电类型半导体至所述太阳能电池第一极性电极的太阳能电池第一极性电极电源线接触孔；向各接触孔内填充金属，并在接触孔外形成连接各接触孔内金属的金属连线；在所述第二绝缘层上形成平坦化层；在所述平坦化层上形成ITO层作为OLED像素阳极，在所述ITO层上形成像素限定层，在所述像素限定层上形成像素支撑层；在所述ITO层上形成OLED有机层；在所述基板的第一面淀积金属，并通过光刻和刻蚀分别形成位于OLED有机层上的OLED阴极，和位于所述第二导电类型半导体材料层上的太阳能电池第二极性电极；所述第一极性和第二极性为相反的极性。