[发明专利]光照射装置以及光照射方法

摘要

提供一种能够在一张工件上形成取向方向不同的多个区域的光照射装置以及光照射方法。光照射装置(偏振光照射装置)(100)具备从光出射口照射第一偏振光的光照射部(10A)、以及从光出射口照射第二偏振光的光照射部(10C)。另外，偏振光照射装置(100)具备：板部件(遮光板(31))，配置于载物台(21)，在第一使用位置(去路遮光位置(302))规定应利用第一偏振光进行光取向的工件(W)上的第一区域，在第二使用位置(回路遮光位置(303))规定应利用第二偏振光进行光取向的工件(W)上的第二区域；以及驱动部(遮光掩模驱动部(34))，使板部件在第一使用位置与第二使用位置之间移动。

主权项

一种光照射装置，对形成有光取向膜的工件照射偏振光而进行光取向，其特征在于，该光照射装置具备：载物台，沿规定的输送路径输送上述工件；第一光照射部，设置在上述工件的输送路径上，利用第一偏振器对来自光源的光进行偏振，并从光出射口照射第一偏振光；第二光照射部，在上述输送路径上与上述第一光照射部并列设置，利用具有与上述第一偏振器不同方向的透光轴的第二偏振器对来自光源的光进行偏振，并从光出射口照射第二偏振光；板部件，配置于上述载物台，在上述载物台上的上述工件的能够照射偏振光的可照射区域内的第一使用位置，规定应利用上述第一偏振光进行光取向的上述工件上的第一区域，在上述可照射区域内的与上述第一使用位置不同的第二使用位置，规定应利用上述第二偏振光进行光取向的上述工件上的第二区域；以及驱动部，使上述板部件在上述第一使用位置与上述第二使用位置之间移动。