[发明专利]光照射装置以及光照射方法

说明书

提供一种能够在一张工件上形成取向方向不同的多个区域的光照射装置以及光照射方法。光照射装置(偏振光照射装置)(100)具备从光出射口照射第一偏振光的光照射部(10A)、以及从光出射口照射第二偏振光的光照射部(10C)。另外，偏振光照射装置(100)具备：板部件(遮光板(31))，配置于载物台(21)，在第一使用位置(去路遮光位置(302))规定应利用第一偏振光进行光取向的工件(W)上的第一区域，在第二使用位置(回路遮光位置(303))规定应利用第二偏振光进行光取向的工件(W)上的第二区域；以及驱动部(遮光掩模驱动部(34))，使板部件在第一使用位置与第二使用位置之间移动。

技术领域

本发明涉及对工件照射偏振光的光照射装置以及光照射方法。

背景技术

近年来，关于以液晶面板为首的液晶显示元件的取向膜、视场角补偿膜的取向层等的取向处理，采用了照射规定的波长的偏振光而进行取向的、被称作光取向的技术。

例如，在专利文献1中公开了使用于光取向的光照射装置。该光照射装置包括具有相当于光照射区域的宽度的长度的线状的光源、以及对来自该光源的光进行偏振的偏振元件，通过对沿与光源的长度方向正交的方向输送的工件照射偏振光来进行光取向处理。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014－174352号公报

发明内容

然而，光取向处理不仅针对电视画面用的液晶面板那种大型的基板、也开展于智能手机用等中小型的液晶显示器。因此，期望高效地制造大型的液晶显示器与中小型的液晶显示器等不同尺寸、不同用途的显示器。

为了应对这种期望，需要在一张基板上形成取向方向不同的多个取向区域，并将该基板作为母基板而制成多种基板。然而，以往的光照射装置不能对一张基板的整个面照射具有一定的方向的偏振轴的偏振光。因此，不能在一张基板上形成取向方向不同的多个取向区域。

因此，本发明的课题在于提供一种能够在一张工件上形成取向方向不同的多个区域的光照射装置以及光照射方法。

为了解决该课题，本发明的光照射装置的一方式为一种光照射装置，对形成有光取向膜的工件照射偏振光而进行光取向，该光照射装置具备：载物台，沿规定的输送路径输送上述工件；第一光照射部，设置在上述工件的输送路径上，利用第一偏振器对来自光源的光进行偏振，并从光出射口照射第一偏振光；第二光照射部，在上述输送路径上与上述第一光照射部并列设置，利用具有与上述第一偏振器不同方向的透光轴的第二偏振器对来自光源的光进行偏振，并从光出射口照射第二偏振光；板部件，配置于上述载物台，在上述载物台上的上述工件的能够照射偏振光的可照射区域内的第一使用位置，规定应利用上述第一偏振光进行光取向的上述工件上的第一区域，在上述可照射区域内的与上述第一使用位置不同的第二使用位置，规定应利用上述第二偏振光进行光取向的上述工件上的第二区域；以及驱动部，使上述板部件在上述第一使用位置与上述第二使用位置之间移动。

根据上述的结构，能够通过板部件规定从第一光照射部出射的第一偏振光所照射的工件上的区域、以及从第二光照射部出射的第二偏振光所照射的工件上的区域。由此，能够将偏振轴分别不同的多个偏振光在一张工件上划分照射区域地进行照射，能够在一张工件上形成取向方向不同的多个取向区域。因此，能够高效地制造不同尺寸、不同用途的基板，能够使生产性提高。

另外，在上述的光照射装置中，也可以是，上述板部件由将有助于上述光取向膜的光取向的波长的偏振光进行遮光的光学滤波器构成。这样，通过光学滤波器构成板部件，能够抑制光源的热量导致的第一板部件以及第二板部件的变形、恶化。