[发明专利]药液及电解液的调制供给装置、使用费用计算方法及系统

摘要

提供在用于半导体、液晶显示器或电池的制造的药液或电解液中，药液使用者不购入运用药液调制供给装置或不筹备药液或其原料而能够始终接受需要量的所需浓度的药液的供给的药液使用费用计算方法以及所需的药液调制供给装置。药液调制供给装置在供给药液的配管具备累计流量计。将药液供给者拥有的药液调制供给装置与药液使用设备连接，使用药液调制供给装置从药液供给者筹备的药液原料来调制要供给的药液。调制后的药液根据供给请求，由累计流量计测量供给量的同时被供给至药液使用设备。药液供给者根据每规定期间测量的累计流量来计算向药液使用者索取的使用费用。若累计流量计具有通信功能，则能够经由网络远程监视累计流量，计算药液的使用费用。

主权项

一种药液调制供给装置，向使用在半导体或液晶显示器的制造过程中所利用的药液的设备调制并供给所述药液，其中，在将调制后的所述药液输送至所述设备的配管上具备累计流量计。