[发明专利]一种以四氯化硅制备三氯氢硅的装置及方法

摘要

本发明公开了一种以四氯化硅制备三氯氢硅的装置和方法，装置包括密封法兰、可变垫环、高压阻挡圈、电介质、外电极及内电极，内电极位于轴线位置处，内电极两端分别与两密封法兰连接；电介质的两端分别连接两密封法兰并将内电极套在内部，高压阻挡圈套装在电介质上，且与密封法兰紧密贴住，外电极紧密包裹在电介质外表面；一密封法兰具有进气导口，另一密封法兰具有出气导口。本发明结构灵活，能够轻易调整其几何参数，气密性良好，消除了气体泄露产生的危害；能够有效降低击穿电压和使等离子体维持在非平衡状态，能够容易的产生低温等离子体，有效地提高放电间隙内的电子密度；操作范围广，能够在较广的气压、电压、频率及功率下工作。

主权项

一种以四氯化硅制备三氯氢硅的装置，其特征在于：该装置即为四氯化硅介质阻挡低温等离子氢化反应器，其包括密封法兰、可变垫环、高压阻挡圈、电介质、外电极及内电极，内电极位于反应器的轴线位置处，内电极上端和内电极下端分别与两端的密封法兰连接；电介质的两端分别连接两端的密封法兰并将内电极套在内部，高压阻挡圈套装在电介质上，且与密封法兰紧密贴住，外电极紧密包裹在电介质的外表面；密封垫片和可变垫环安装于密封法兰中，其中可变垫环位于电介质外表面与密封法兰之间，而密封垫片密封于电介质内表面及电介质两端与密封法兰之间；通过拧紧电介质两头的密封法兰，电介质与密封法兰内的密封垫片紧密结合；其中一端的密封法兰具有进气导口，另一端的密封法兰具有出气导口；其中一端的密封法兰连接有电源连接柱，该反应器通过电源连接柱与驱动电源的正极连接，驱动电源的负极与外电极连接。