[发明专利]一种DMD结构XY多轴可移动光路直写曝光机在审
| 申请号： | 201611025099.6 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN108303853A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 李显杰 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 耿晓岳 |
| 地址： | 221300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种DMD结构XY多轴可移动光路直写曝光机，属于直写曝光技术领域。本发明的DMD结构XY多轴可移动光路直写曝光机，主要对真空吸盘结构进行了改进，有效解决了生产小板时由于漏气而造成的吸力不足的问题。进一步地，吸盘上的气孔分布为中间疏、四周密，有效杜绝了板子边缘翘起的问题，节省了气孔数量，减少了成本。本发明的DMD结构XY多轴可移动光路直写曝光机，可生产55英寸的超大板；且吸盘下方在左右两侧分别连接两组运动组件，两组运动组件的运动轴同步运动，提高了曝光精度和运行的稳定性。同时，分区对位聚焦方法改进可以确保图像曝光位置准确，图像曝光清楚。 | ||
| 搜索关键词： | 直写 可移动 曝光机 多轴 光路 吸盘 运动组件 两组 图像曝光位置 曝光技术 同步运动 图像曝光 吸力不足 有效解决 真空吸盘 左右两侧 运动轴 漏气 板子 对位 翘起 小板 改进 分区 聚焦 曝光 生产 | ||
【主权项】：
1.一种真空吸盘，其特征在于，所述真空吸盘包括吸盘主体和真空发生装置；吸盘主体上以行和列的形式分布一定数量的气孔，每一行气孔各对应一个继电器，每一列气孔也各对应一个继电器；每个气孔与真空发生装置之间连接有气孔开关；气孔开关同时与该气孔所在行的继电器和该气孔所在列的继电器连接。
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