[发明专利]一种扩散快速退火方法

摘要

本发明公开了一种扩散快速退火方法。本发明在低于800℃进行一次通源预沉积过程，沉积过后进行有氧升温推进，且升温温度最高可达840‑880℃，此时推进的PN结较深，随后是有氧降温过程，温度降至810‑850℃，再进行二次通源，二次通源是进行快速退火的关键步骤，之后马上半开炉门，通入大量的氮气，快速降温退火，晶格得到一定程度的修复作用，但是磷源仍然需要一定的推进时间，故而关闭炉门缓慢回温至恒温状态。本发明的有益效果是进行二次通源，增加表面浓度，提高填充因子；进行晶格修复，减少热损伤，提高开路电压和短路电流，以提高电池片的转换效率，同时快速降温可以减少工艺总时间，提高工艺效率，提高产能。

主权项

一种扩散快速退火方法，其特征是，具体操作步骤如下：(1)将制绒好的硅片插入到石英舟内，并送入到扩散炉管中，炉门关闭后，将炉口至炉尾的温度升到730‑800℃，同时一直通入氮气；(2)一次通源：温度维持在730‑800℃的前氧化过程，同时通入氮气和氧气，在前氧化过后进行预沉积过程，在预沉积过程中，只需在前氧化的基础上通入携源氮气；(3)有氧升温推进，将温度从730‑800℃升温至840‑880℃，通入氮气和氧气，在有氧升温推进后进行有氧降温过程，将温度从840‑880℃降温到810‑850℃，再通入氮气和氧气；(4)二次通源：在温度为810‑850℃时，再一次进行通源沉积，通入氮气、氧气和携源氮气；(5)快速退火：二次通源后，炉门半开，通入氮气，温度从810‑850℃降至720‑780℃，炉门关闭，温度恢复到750‑800℃；(6)退舟的过程中，通入氮气。