[发明专利]一种扩散快速退火方法

权利要求书

1.一种扩散快速退火方法，其特征是，具体操作步骤如下：

(1)将制绒好的硅片插入到石英舟内，并送入到扩散炉管中，炉门关闭后，将炉口至炉尾的温度升到730-800℃，同时一直通入氮气；

(2)一次通源：温度维持在730-800℃的前氧化过程，同时通入氮气和氧气，在前氧化过后进行预沉积过程，在预沉积过程中，只需在前氧化的基础上通入携源氮气；

(3)有氧升温推进，将温度从730-800℃升温至840-880℃，通入氮气和氧气，在有氧升温推进后进行有氧降温过程，将温度从840-880℃降温到810-850℃，再通入氮气和氧气；

(4)二次通源：在温度为810-850℃时，再一次进行通源沉积，通入氮气、氧气和携源氮气；

(5)快速退火：二次通源后，炉门半开，通入氮气，温度从810-850℃降至720-780℃，炉门关闭，温度恢复到750-800℃；

(6)退舟的过程中，通入氮气。

2.根据权利要求1所述的一种扩散快速退火方法，其特征是，在步骤(1)中，升温的时间为300-800s，通入的氮气流量为17000-25000sccm。

3.根据权利要求1所述的一种扩散快速退火方法，其特征是，在步骤(2)中，温度维持的时间为500-1000s，通入的氮气流量为13000-23000sccm，通入的氧气流量为200-800sccm，通入的携源氮气流量为500-1800sccm。

4.根据权利要求1所述的一种扩散快速退火方法，其特征是，在步骤(3)中，在有氧升温推进的过程中，升温的时间为500-1700s，通入的氮气流量为10000-23000sccm，通入的氧气流量为200-1000sccm；在有氧降温的过程中，将温度从840-880℃降温到810-850℃后，维持的时间为100-600s，通入的氮气流量为10000-23000sccm，通入的氧气流量为200-1000sccm。

5.根据权利要求1所述的一种扩散快速退火方法，其特征是，在步骤(4)中，通入的氮气流量为13000-23000sccm，通入的氧气流量为200-800sccm，通入的携源氮气流量为500-1800sccm，维持的时间为400-1000s。

6.根据权利要求1所述的一种扩散快速退火方法，其特征是，在步骤(5)中，快速退火的整个过程不需要退舟，而是直接在炉内进行，扩散炉管的进气方式选择尾部进气。

7.根据权利要求1或6所述的一种扩散快速退火方法，其特征是，在步骤(5)中，通入的氮气流量为15000-25000sccm，维持的时间为240-360s，温度从810-850℃降至720-780℃后，炉门关闭，时间维持为300-800s将温度升高到750-800℃。

8.根据权利要求1所述的一种扩散快速退火方法，其特征是，在步骤(6)中，通入的氮气流量为17000-25000sccm，时间为500-650s。