[发明专利]一种离子源

摘要

本发明公开了一种离子源，包括支架组件、栅网组件和放电组件，所述支架组件的内部设置有一空腔，所述栅网组件安装于所述支架组件的一端，所述支架组件的另一端开口，所述放电组件滑动安装于所述支架组件的内部空腔内并与支架组件的开口端紧固相连。本发明的离子源具有结构简单、拆装方便以及检修效率高等优点。

主权项

1.一种离子源，其特征在于，包括支架组件、栅网组件和放电组件，所述支架组件的内部设置有一空腔，所述栅网组件安装于所述支架组件的一端，所述支架组件的另一端开口，所述放电组件滑动安装于所述支架组件的内部空腔内并与支架组件的开口端紧固相连；所述支架组件的内部空腔的内壁上设置有多根滑条（10），所述放电组件安装于一安装板（11）上，所述安装板（11）的周侧设置有多个卡槽（111），所述卡槽（111）滑设于所述滑条（10）上；所述放电组件包括阳极筒（1）、灯杆座（7）、法兰（19）、多根灯丝杆（3）和多根阳极杆（8），所述法兰（19）与支架组件的开口端紧固相连，所述法兰（19）上安装有灯丝电极（23）和阳极筒电极（22）；所述阳极筒（1）安装于所述安装板（11）上，所述灯杆座（7）绝缘安装于所述阳极筒（1）与安装板（11）之间，所述阳极杆（8）的一端伸入至所述阳极筒（1）内并与阳极筒（1）紧固相连，另一端经所述灯杆座（7）与安装板（11）紧固相连，并与所述法兰（19）上的阳极筒电极（22）相连；所述灯丝杆（3）的一端伸入至所述阳极筒（1）内，另一端经所述灯杆座（7）后与所述安装板（11）紧固相连，并与法兰（19）上的灯丝电极（23）相连，各灯丝杆（3）于阳极筒（1）内的一端均连接有灯丝（2）；所述阳极筒（1）与法兰（19）之间安装有进气组件。