[发明专利]一种离子源

说明书

本发明公开了一种离子源，包括支架组件、栅网组件和放电组件，所述支架组件的内部设置有一空腔，所述栅网组件安装于所述支架组件的一端，所述支架组件的另一端开口，所述放电组件滑动安装于所述支架组件的内部空腔内并与支架组件的开口端紧固相连。本发明的离子源具有结构简单、拆装方便以及检修效率高等优点。

技术领域

本发明主要涉及电离设备技术领域，特指一种离子源。

背景技术

离子源连续工作时间受到阴极灯丝和阳极筒清洁度影响，阴极灯丝易烧断，需频繁更换。阳极筒内表面易积累金属离子和非金属离子影响其清洁度和导电性，需定期清洗。传统离子源通过连杆将加速法兰和抑制法兰与放电室安装在一起，由于灯丝寿命比较短，需经常拆卸离子源进行更换，更换时从离子源的上方拆除栅网组件，再拆除固定在放电室侧壁的阳极筒进行清洗，在装配时，手工单独装配加速法兰和抑制法兰时，容易造成加速栅网和抑制栅网不能完全对正，即使使用定位销也难以一次装配成功，因此拆装繁琐。而离子源阳极筒由于安装固定在放电室侧壁，连接杆需穿过冷却腔体并与其绝缘，既增加了冷却腔体结构件加工难度，又使阳极筒安装与拆卸麻烦。

发明内容

本发明要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本发明提供一种结构简单、拆装方便、检修效率高的离子源。

为解决上述技术问题，本发明提出的技术方案为：

一种离子源，包括支架组件、栅网组件和放电组件，所述支架组件的内部设置有一空腔，所述栅网组件安装于所述支架组件的一端，所述支架组件的另一端开口，所述放电组件滑动安装于所述支架组件的内部空腔内并与支架组件的开口端紧固相连。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述支架组件的内部空腔的内壁上设置有多根滑条，所述放电组件安装于一安装板上，所述安装板的周侧设置有多个卡槽，所述卡槽滑设于所述滑条上。

所述放电组件包括阳极筒、灯杆座、法兰、多根灯丝杆和多根阳极杆，所述法兰与支架组件的开口端紧固相连，所述法兰上安装有灯丝电极和阳极筒电极；所述阳极筒安装于所述安装板上，所述灯杆座绝缘安装于所述阳极筒与安装板之间，所述阳极杆的一端伸入至所述阳极筒内并与阳极筒紧固相连，另一端经所述灯杆座与安装板紧固相连，并与所述法兰上的阳极筒电极相连；所述灯丝杆的一端伸入至所述阳极筒内，另一端经所述灯杆座后与所述安装板紧固相连，并与法兰上的灯丝电极相连，各灯丝杆于阳极筒内的一端均连接有灯丝；所述进气组件安装于所述阳极筒与法兰之间。

所述进气组件包括气体分配器和导气管，所述安装板上设置有螺柱，所述法兰上设置有螺套，所述气体分配器安装于所述灯杆座上且位于阳极筒与灯杆座之间，所述导气管的一端与所述螺柱螺纹连接并与气体分配器连通，另一端则与螺套紧固相连并与法兰的外部连通。

所述支架组件包括上法兰、下法兰、底板和支架，所述上法兰与下法兰之间设置有环圈，所述上法兰、下法兰与环圈之间构成放电室，所述底板与所述下法兰紧固相连，所述支架呈环状且其一端与所述底板之间紧固相连且相互绝缘，另一端开口。

所述支架的周侧开设有一个以上的观察窗。

所述栅网组件包括加速法兰、加速栅网、抑制法兰、抑制栅网和加速栅连杆，所述抑制法兰安装于所述上法兰上且相互绝缘，所述加速法兰安装于所述抑制法兰上且相互绝缘，所述抑制栅网安装于所述抑制法兰上，所述加速栅网安装于所述加速法兰上，所述加速栅连杆依次穿过所述加速法兰和抑制法兰后与所述上法兰紧固相连，且所述加速栅连杆与所述上法兰和抑制法兰绝缘，与所述加速法兰导通。

所述环圈包括内壁和外壁，所述内壁与所述外壁同轴设置，所述内壁与外壁之间形成冷却腔。

所述环圈的外周侧安装有多根磁棒、用于形成磁场。

与现有技术相比，本发明的优点在于：