[发明专利]一种离子源

权利要求书

1.一种离子源，其特征在于，包括支架组件、栅网组件和放电组件，所述支架组件的内部设置有一空腔，所述栅网组件安装于所述支架组件的一端，所述支架组件的另一端开口，所述放电组件滑动安装于所述支架组件的内部空腔内并与支架组件的开口端紧固相连；所述支架组件的内部空腔的内壁上设置有多根滑条（10），所述放电组件安装于一安装板（11）上，所述安装板（11）的周侧设置有多个卡槽（111），所述卡槽（111）滑设于所述滑条（10）上；所述放电组件包括阳极筒（1）、灯杆座（7）、法兰（19）、多根灯丝杆（3）和多根阳极杆（8），所述法兰（19）与支架组件的开口端紧固相连，所述法兰（19）上安装有灯丝电极（23）和阳极筒电极（22）；所述阳极筒（1）安装于所述安装板（11）上，所述灯杆座（7）绝缘安装于所述阳极筒（1）与安装板（11）之间，所述阳极杆（8）的一端伸入至所述阳极筒（1）内并与阳极筒（1）紧固相连，另一端经所述灯杆座（7）与安装板（11）紧固相连，并与所述法兰（19）上的阳极筒电极（22）相连；所述灯丝杆（3）的一端伸入至所述阳极筒（1）内，另一端经所述灯杆座（7）后与所述安装板（11）紧固相连，并与法兰（19）上的灯丝电极（23）相连，各灯丝杆（3）于阳极筒（1）内的一端均连接有灯丝（2）；所述阳极筒（1）与法兰（19）之间安装有进气组件。

2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述进气组件包括气体分配器（5）和导气管（13），所述安装板（11）上设置有螺柱（15），所述法兰（19）上设置有螺套，所述气体分配器（5）安装于所述灯杆座（7）上且位于阳极筒（1）与灯杆座（7）之间，所述导气管（13）的一端与所述螺柱（15）螺纹连接并与气体分配器（5）连通，另一端则与螺套紧固相连并与法兰（19）的外部连通。

3.根据权利要求1至2中任意一项所述的离子源，其特征在于，所述支架组件包括上法兰（28）、下法兰（33）、底板（32）和支架（9），所述上法兰（28）与下法兰（33）之间设置有环圈，所述上法兰（28）、下法兰（33）与环圈之间构成放电室，所述底板（32）与所述下法兰（33）紧固相连，所述支架（9）呈环状且其一端与所述底板（32）之间紧固相连且相互绝缘，另一端开口。

4.根据权利要求3所述的离子源，其特征在于，所述支架（9）的周侧开设有一个以上的观察窗（91）。

5.根据权利要求3所述的离子源，其特征在于，所述栅网组件包括加速法兰（24）、加速栅网（25）、抑制法兰（26）、抑制栅网（27）和加速栅连杆（42），所述抑制法兰（26）安装于所述上法兰（28）上且相互绝缘，所述加速法兰（24）安装于所述抑制法兰（26）上且相互绝缘，所述抑制栅网（27）安装于所述抑制法兰（26）上，所述加速栅网（25）安装于所述加速法兰（24）上，所述加速栅连杆（42）依次穿过所述加速法兰（24）和抑制法兰（26）后与所述上法兰（28）紧固相连，且所述加速栅连杆（42）与所述上法兰（28）和抑制法兰（26）绝缘，与所述加速法兰（24）导通。

6.根据权利要求3所述的离子源，其特征在于，所述环圈包括内壁（35）和外壁（36），所述内壁（35）与所述外壁（36）同轴设置，所述内壁（35）与外壁（36）之间形成冷却腔（37）。

7.根据权利要求6所述的离子源，其特征在于，所述环圈的外周侧安装有多根磁棒（38）、用于形成磁场。