[发明专利]基板的更换方法有效
| 申请号： | 201611001027.8 | 申请日： | 2012-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN106873313B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫;柳川卓也 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 于本发明的基板保持具(30a)，形成有收容用于基板(P)的搬送的基板托盘(40a)的X槽(31x)。此外，于X槽(31x)内，设有按压基板托盘(40a)使基板(P)与基板托盘(40a)一起移动的基板搬出装置(70a)。因此，能在对基板(P)的曝光处理结束后，为更换基板(P)而使基板载台(20a)位于基板更换位置之前，开始基板(P)的搬出动作。 | ||
| 搜索关键词： | 更换 方法 | ||
【主权项】：
一种物体的搬出方法，包含：使保持有用以保持物体的物体保持构件与用于该物体的搬送的物体支承构件的物体保持装置，朝向从该物体保持构件上搬出该物体的物体搬出位置移动；以及在该物体保持装置到达该物体搬出位置前，开始将该物体从该物体保持构件上搬出的搬出动作。
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