[发明专利]基板的更换方法

说明书

于本发明的基板保持具(30a)，形成有收容用于基板(P)的搬送的基板托盘(40a)的X槽(31x)。此外，于X槽(31x)内，设有按压基板托盘(40a)使基板(P)与基板托盘(40a)一起移动的基板搬出装置(70a)。因此，能在对基板(P)的曝光处理结束后，为更换基板(P)而使基板载台(20a)位于基板更换位置之前，开始基板(P)的搬出动作。

本申请是申请日为2012年5月11日，申请号为201280023751.4，发明名称为“基板的更换方法”的专利申请的分案申请

技术领域

本发明是关于物体的搬出方法、物体的更换方法、物体保持装置、曝光装置、平面显示器的制造方法以及元件制造方法，详言之，是关于将物体保持装置上的物体与物体支承构件一起从前述物体保持装置搬出的物体的搬出方法、包含前述物体的搬出方法的前述物体保持装置上的物体的更换方法、具备用以搬出前述物体的搬出装置的至少一部的物体保持装置、具备前述物体保持装置的曝光装置、使用前述曝光装置的平面显示器的制造方法、以及使用前述曝光装置的元件制造方法。

背景技术

一直以来，于制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路)等电子元件(微元件)的光刻工艺，主要是使用步进重复(step&repeat)方式的投影曝光装置(所谓的步进机)、或步进扫描(step&scan)方式的投影曝光装置(所谓的扫描步进机(亦称为扫描机))等。

作为此种曝光装置，已知有将曝光对象物的玻璃板或晶圆(以下，统称为“基板”)使用既定基板搬送装置对基板载台装置进行搬入及搬出者(例如，参照专利文献1)。

此处，于曝光装置，当对基板载台装置所保持的基板进行的曝光处理结束时，将该基板从基板载台上搬出，并将另一基板搬送至基板载台上，据以连续进行对复数个基板的曝光处理。因此，在对复数个基板连续进行曝光处理时，最好是能迅速地进行基板从基板载台装置的搬出。

先行技术文献

专利文献1：美国专利第6,559,928号说明书

发明内容

本发明有鉴于上述情事，其第1观点为一种物体的搬出方法，包含：使保持有用以保持物体的物体保持构件与用于该物体的搬送的物体支承构件的物体保持装置，朝向从该物体保持构件上搬出该物体的物体搬出位置移动；以及在该物体保持装置到达该物体搬出位置前，开始将该物体从该物体保持构件上搬出的搬出动作。

根据此方法，由于是在物体保持装置到达物体搬出位置的前开始物体的搬出动作，因此能迅速进行物体保持构件上的物体的搬出动作。

本发明第2观点，为一种在物体保持装置上的物体的更换方法，包含：实施本发明第1观点的物体的搬出方法的动作；在该物体保持装置到达该物体搬出位置前，使被支承于另一物体支承构件的另一物体待机于既定待机位置的动作；在该物体保持装置位于该物体搬出位置的状态下，将该物体与支承该物体的该物体支承构件从该物体保持装置搬出的动作；以及将位于该待机位置的该另一物体与支承该另一物体的该另一物体支承构件一起搬入该物体保持装置上的动作。

本发明第3观点，为一种物体保持装置，具备：保持物体与用于搬送该物体的物体支承构件的物体保持构件；以及将该物体保持构件所保持的该物体与支承该物体的该物体支承构件一起从该物体保持构件上搬出的搬出装置的的至少一部分。

本发明第4观点，为一种曝光装置，包含：本发明第3观点的物体保持装置；以及于该物体使用能量束形成既定图案的图案形成装置。

本发明第5观点，为一种曝光装置，是通过能量束使物体曝光以于该物体形成图案，包含：物体保持装置，具有用以保持该物体与用于搬送该物体的物体支承构件的物体保持构件、与将该物体保持构件所保持的该物体与用以支承该物体的该物体支承构件一起从该物体保持构件上搬出的搬出装置的至少一部；以及图案形成装置，使用能量束于该物体形成既定图案。