[发明专利]用于MEMS传感器的加热装置有效
| 申请号： | 201610984262.5 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN107055455B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | R·鲁萨诺夫 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00;H05B3/12;H05B3/16;G01N33/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于MEMS传感器(100)的加热装置(10)，所述加热装置具有：‑用于电流的金属导入元件(11)；‑用于电流的金属导出元件(12)；和‑在所述导入元件(11)和所述导出元件(12)之间构造的限定数量的金属加热元件(13)，其中，在所述导入元件(11)中、在所述导出元件(12)中和在所述加热元件(13)中能够形成基本恒定的电流密度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 传感器 加热 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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