[发明专利]具有多级主工艺步骤的热处理设备工艺控制装置及方法

摘要

一种具有多级主工艺步骤的热处理设备工艺控制装置和方法，包括加热器、给加热器供电的电力供应单元、测量反应腔室温度的温度测量单元、信号处理单元、包含在电力供应单元中的功率控制单元、专用温度控制器和工艺模块控制器；当工艺流程开始前，工艺模块控制器将工艺文件中至少连续两步正常主工艺步骤的工艺参数和与各主工艺步骤相对应的所有从属工艺文件的工艺参数信息导入温度控制器的缓存区内；当进行主工艺步骤切换时，由工艺模块控制器主动发送切换控制的信号量，专用温度控制器以指针方式或者存储器位置跳转的方式将需更新的工艺参数从缓存区导入运行中的功率控制单元，与信号处理单元一起实现电力供应单元的控制信息更新。

主权项

1.一种具有多级主工艺步骤的热处理设备工艺控制装置；其特征在于，包括：用于给反应腔室供热的加热器、给所述加热器供电的电力供应单元、测量所述反应腔室温度的温度测量单元、信号处理单元、包含在电力供应单元中的功率控制单元、专用温度控制器和工艺模块控制器；所述信号处理单元接收所述温度测量单元发送所述反应腔室的实时温度测量结果和温度测量单元状态信息，其中，所述工艺模块控制器分别与信号处理单元、专用温度控制器和电力供应单元相连；当工艺流程开始前，所述工艺模块控制器将工艺文件中至少连续两步正常主工艺步骤的工艺参数和与各主工艺步骤相对应的所有从属工艺文件的工艺参数信息导入专用温度控制器的缓存区内；当进行主工艺步骤切换时，由所述工艺模块控制器主动发送切换控制的信号量，所述专用温度控制器以指针方式或者存储器位置跳转的方式将需更新的工艺参数从缓存区导入运行中的功率控制单元，与所述信号处理单元输出信号一起，实现所述电力供应单元的控制信息更新。