[发明专利]一种压强调控晶体生长反应釜有效
| 申请号： | 201610963655.8 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106367804B | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 李成明;巫永鹏;王琦;陈蛟;胡耀华;徐永钊;郑小平;卢洪;李顺峰;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/16;C30B29/40 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林;杨桂洋 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压强调控晶体生长反应釜，包括釜体，釜体内设有晶体生长室，釜体外设有加热装置，釜体内填充有液体镓源，所述釜体内还设有压强调节室，晶体生长室底面设有隔板，该隔板上设有连接孔，该晶体生长室通过连接孔与压强调节室连通，压强调节室上设有增压阀和减压阀，隔板上设有朝向晶体生长室凸出的衔接管口，连接孔设置在该衔接管口侧壁。本发明通过细微调整两个晶体生长室和压强调节室之间压强的差异，可以有效地实现反应釜内液体镓源的可控流动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压强 调控 晶体生长 反应 | ||
【主权项】：
1.一种压强调控晶体生长反应釜，包括釜体，釜体内设有晶体生长室，釜体外设有加热装置，釜体内填充有液体镓源，所述釜体内还设有压强调节室，晶体生长室底面设有隔板，该隔板上设有连接孔，该晶体生长室通过连接孔与压强调节室连通，压强调节室上设有增压阀和减压阀，其特征在于，所述隔板上设有朝向晶体生长室凸出的衔接管口，连接孔设置在该衔接管口侧壁。
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