[发明专利]分子电子型角加速度计敏感组件增压封离收口装置及方法

摘要

本发明属于测量技术领域，具体公开了一种分子电子型角加速度计敏感组件增压封离收口装置及方法。装置包括加工有注液通道的本体，其上设有与注液通道连通的储存器、真空除气阀、增压注气阀和注入阀，储存器与注入阀连通，储存器设有对外的开口。方法中首先将需增压封离收口的敏感组件与注液通道连通后完成真空除气、工作液体注入和增压封离三步工艺。一次性实现角加速度计工作液体在敏感组件内的真空灌注，增压，封离收口。整个工艺过程完全在封闭的装置中进行，避免了工作液体受外界环境的污染影响。使其状态稳定，保证了角加速度计敏感组件的工作稳定。

主权项

1.一种分子电子型角加速度计敏感组件增压封离收口装置，包括本体(1)、其上加工有注液通道(2)，还包括设于本体(1)上、与注液通道(2)连通的储存器(3)、真空除气阀(4)、增压注气阀(5)和注入阀(6)，其特征在于：所述的储存器(3)的一端与注入阀(6)的一端相连通，储存器(3)的另一端对外开口，注入阀(6)的另一端与注液通道(2)相连通。