[发明专利]分子电子型角加速度计敏感组件增压封离收口装置及方法

说明书

本发明属于测量技术领域，具体公开了一种分子电子型角加速度计敏感组件增压封离收口装置及方法。装置包括加工有注液通道的本体，其上设有与注液通道连通的储存器、真空除气阀、增压注气阀和注入阀，储存器与注入阀连通，储存器设有对外的开口。方法中首先将需增压封离收口的敏感组件与注液通道连通后完成真空除气、工作液体注入和增压封离三步工艺。一次性实现角加速度计工作液体在敏感组件内的真空灌注，增压，封离收口。整个工艺过程完全在封闭的装置中进行，避免了工作液体受外界环境的污染影响。使其状态稳定，保证了角加速度计敏感组件的工作稳定。

技术领域

本发明属于测量技术领域，具体涉及一种分子电子型角加速度计敏感组件增压封离收口装置及增压封离方法。

背景技术

分子电子型角加速度计是用来测量载体相对于其所对应轴线的角加速度信号，其工作原理是利用其敏感组件内的工作液体的流动导致“转换器件——液体”界面处电荷的转移而形成电势差，通过电极测量转换器件两端的电势差，直接得到与外界角加速度信号相对应的电信号。

分子电子型角加速度计的敏感组件是其核心敏感单元，由环形腔体、转换器、电极和工作液体组成。转换器和电极均封接在环形腔体内，工作液体也灌装在环形腔体内，工作液体作为其直接感应外界角加速度信息的惯性质量体，是分子电子型角加速度计的关键部分之一。在敏感组件转换器件内分布有许许多多微小的孔隙，当液体流经这些孔隙时，孔隙壁对某些阳离子有亲合势，这些阳离子被吸附在孔隙壁结构之中。这样，孔隙表面由于吸附离子而带电，在它周围的工作液体内则分布着与孔隙表面电性相反、电荷相等的离子，使工作液体带电，当外界有角加速度信息导致带电的工作液体流动时，形成电信号。

因此，工作液体的状态稳定是角加速度计正常工作的关键因素之一。在角加速度计的工艺实现过程中，需要在敏感组件内部灌封工作液体，并对敏感组件进行收口封离，保证内部的工作液体处于一个封闭，稳定的环境中。

发明内容

本发明的目的是提供一种分子电子型角加速度计敏感组件增压封离收口装置及方法，其能够满足分子电子型角加速度计工程产品实现时对敏感组件中工作液体进行真空灌注、增压、封离收口的实现要求。

本发明的技术方案如下：

一种分子电子型角加速度计敏感组件增压封离收口装置，包括本体、其上加工有注液通道，还包括设于本体上、与注液通道连通的储存器、真空除气阀、增压注气阀和注入阀，所述的储存器的一端与注入阀的一端相连通，储存器的另一端对外开口，注入阀的另一端与注液通道相连通。

上述分子电子型角加速度计敏感组件增压封离收口装置中：

所述的真空除气阀的一端与注液通道相连通，另一端对外与外接的真空除气泵连接。

所述的增压注气阀的一端与注液通道相连接，另一端对外与外接的压力泵连接。

上述分子电子型角加速度计敏感组件增压封离收口装置中：所述的本体设于支架上。

一种分子电子型角加速度计敏感组件增压封离方法，需增压封离收口的敏感组件放置于本体上，与本体上的注液通道连通，之后完成如下步骤：

1)对敏感组件真空除气，具体步骤为，

a)将真空除气泵和压力泵分别与真空除气阀和增压注气阀连接；同时需增压封离收口的敏感组件与上述的注液通道连通；

b)关闭增压注气阀、注入阀，真空除气阀；

c)打开真空除气阀，利用外界的真空除气泵对该封闭腔体进行真空除气；

2)工作液体注入敏感组件；

将工作液体注入储存器中，关闭真空除气阀，打开注入阀，工作液体会体注入阀，流经注液通道进入敏感组件产品中；

3)敏感组件增压封离；