[发明专利]金属掩模材料及金属掩模有效
| 申请号： | 201610960658.6 | 申请日： | 2016-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN107012421B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 近藤祐幸 | 申请（专利权）人： | JX金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12;C22C38/10;C22C38/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马倩;鲁炜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供不仅提高蚀刻加工精度而且可精度良好地检测自身的缺陷的金属掩模材料及金属掩模。本发明的金属掩模材料由Fe‑Ni系合金的轧制箔形成，所述Fe‑Ni系合金的轧制箔含有合计30～45质量%的Ni和Co、其中含有0～6质量%的Co，且余量由Fe及无法避免的杂质构成，厚度t为0.02～0.08mm，沿轧制平行方向及轧制垂直方向按照JIS‑B0601测得的算术平均粗糙度Ra为0.01～0.20μm，并且，沿轧制平行方向及轧制垂直方向按照JIS‑Z8741测得的60度光泽度G60为200～600。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 材料 | ||
【主权项】：
1.金属掩模材料，其是由Fe‑Ni系合金的轧制箔形成的金属掩模材料，所述Fe‑Ni系合金的轧制箔含有合计30～45质量%的Ni和Co、其中含有0～6质量%的Co，且余量由Fe及无法避免的杂质构成，其特征在于，厚度t为0.02～0.08mm，沿轧制平行方向及轧制垂直方向按照JIS‑B0601测得的算术平均粗糙度Ra为0.01～0.20μm，并且，沿轧制平行方向及轧制垂直方向按照JIS‑Z8741测得的60度光泽度G60为200～600。
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