[发明专利]金属掩模材料及金属掩模

说明书

本发明的课题在于提供不仅提高蚀刻加工精度而且可精度良好地检测自身的缺陷的金属掩模材料及金属掩模。本发明的金属掩模材料由Fe‑Ni系合金的轧制箔形成，所述Fe‑Ni系合金的轧制箔含有合计30～45质量%的Ni和Co、其中含有0～6质量%的Co，且余量由Fe及无法避免的杂质构成，厚度t为0.02～0.08mm，沿轧制平行方向及轧制垂直方向按照JIS‑B0601测得的算术平均粗糙度Ra为0.01～0.20μm，并且，沿轧制平行方向及轧制垂直方向按照JIS‑Z8741测得的60度光泽度G60为200～600。

技术领域

本发明涉及有机EL显示器的制造等中使用的金属掩模材料及金属掩模。

背景技术

平板显示器中，与现在主流的液晶显示器相比较，有机EL显示器具有下述特征：由于结构简单，因而可使得制品更薄；变化快速的影像的显示顺利；而且视野角宽；等等。上述有机EL显示器已在便携终端等小型设备中量产化，作为下一代显示器的有力候选，在大型显示器中的实用化正在进展。

作为制作有机EL显示器的EL（发光）层的方法，大致包括蒸镀法和印刷法。蒸镀法是在真空中进行加热、使蒸发的EL物质以薄层附着于基板的表面的方法。另外，印刷法是通过在基板的表面上印刷EL层而进行制作的方法。蒸镀法进一步包括发出RGB（红绿蓝）三色的光的类型和使EL层发出白色的光的类型。

蒸镀法中，为了以规定的图案在基板的规定的位置制作EL层，包括在蒸镀源与基板之间设置金属掩模的彩色图案形成（color patterning）工序。金属掩模由具有与EL层的图案对应的开口部的金属制的板或箔形成。从蒸镀源蒸发而脱离至真空中的EL物质抵达金属掩模，通过了金属掩模的开口部的EL物质附着于基板，形成具有规定的图案的EL层。

另外，在彩色图案形成工序中，由于从蒸镀源发出的辐射热、并且在金属掩模表面上附着温度高的有机材料，因而，金属掩模的温度有时上升至100℃左右，为了保持基板上的成型位置的精度，金属掩模需要使用具有与基板为同等程度以下的热膨胀的材料。尤其是，需要针对RGB的三色逐一形成发出RGB三色的光的类型中的EL层的图案，因而抑制因金属掩模的膨胀而导致的成型位置的偏离是重要的。

对于金属掩模的厚度而言，在发出RGB三色的光的类型中，主要可使用0.02～0.08mm的箔，在使EL层发出白色的光的类型中，主要可使用0.08～0.25mm的板。

作为发出RGB三色的光的类型中的彩色图案形成工序中的其他问题，有时在基板上成型的有机材料的位置发生偏离，发生影像的颜色不均等不良情况。该工序中，从1点的蒸镀源通过金属掩模的开孔部而使有机材料附着于基板上。因此，在金属掩模厚的情况下，在远离蒸镀源的位置，有机材料的入射角变小时，开孔部壁成为阴影，有机材料的图案形状被成型成与开孔部不同的形状，保持形状精度变得困难。这被称为阴影效应，可通过使金属掩模变薄而改善。

另一方面，为了避免上述问题而使金属掩模变薄时，有时在操作时发生折断，或者由于有机材料堆积于金属掩模而使得重量增加从而导致金属掩模发生形变。为了避免这样的不良情况，需要保持金属掩模的强度，使厚度变薄存在限度。

因此，作为同时实现金属掩模的强度和开孔部的形状精度的方法，公开了部分地设置加固金属线而防止厚度薄的金属掩模弯曲的技术（专利文献1）、使开孔形成层变薄并将其与另外的支持层接合而制作一片金属掩模的技术（专利文献2、3）。另外，公开了控制表面粗糙度、提高蚀刻加工精度的技术（专利文献4）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-50478号公报

专利文献2：日本专利第4126648号公报

专利文献3：日本特开2004-039628号公报

专利文献4：日本特开2010-214447号公报。