[发明专利]一种Bi6Ti3Fe2O18层状多铁外延薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201610937184.3 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN108004592B | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 曹逊;金平实;孙光耀 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C30B29/22 | 分类号： | C30B29/22;C30B25/02;C30B33/02 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 郑优丽;熊子君 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种Bi6Ti3Fe2O18层状多铁外延薄膜及其制备方法，所述薄膜采用脉冲激光沉积法制得，化学组成为Bi6Ti3Fe2O18。本发明的Bi6Ti3Fe2O18层状多铁薄膜物相纯度高,XRD表征结果无杂相，且TEM结果表明薄膜具有良好外延特性，铁电性能良好且同时具备可观的铁磁性，是优异的室温多铁薄膜材料，非常有利于新型多铁薄膜的研发与推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 bi base sub | ||
【主权项】：
1.一种层状多铁外延薄膜的制备方法，其特征在于，所述薄膜采用脉冲激光沉积法制得，化学组成为Bi6Ti3Fe2O18；所述方法包括：将铋源、钛源、铁源混合，压制成型得到Bi6Ti3Fe2O18靶材；脉冲激光沉积法生长Bi6Ti3Fe2O18薄膜：真空抽至1x10‑5Torr以下，氧分压20～100mTorr，衬底温度650～710℃，激光输出能量为80～200mJ, 轰击靶材能量密度为0.7～2.0 J/cm2，沉积时保持激光脉冲频率1～5Hz，沉积时间10～200 分钟；对Bi6Ti3Fe2O18薄膜进行原位热处理，得到Bi6Ti3Fe2O18层状多铁外延薄膜；其中所述衬底为晶格常数在3.8～4.0之间的钙钛矿结构单晶衬底。
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