[发明专利]一种转塔式倒装芯片拾取装置

摘要

本发明涉及一种转塔式倒装芯片拾取装置，该装置的旋转驱动机构通过第一回转轴、第二回转轴与翻转盘固连；进气管支座套装在第二回转轴上且被压紧在第二回转轴的端面，进气管固定在进气管支座上，且与第二回转轴内的导流通道相通；翻转盘上装配有多个吸嘴固定座，并且翻转盘与吸嘴固定座之间通过滑轨副连接；第二回转轴内的导流通道通过过渡气管与吸嘴固定座内的气流通道连通；吸嘴安装在吸嘴固定座上并与吸嘴固定座内的气流通道相通；吸嘴固定座可在直线微调机构的作用下沿翻转盘的径向移动，并在回位弹簧的作用下回到初始位置。本发明翻转盘翻转精度高，能够实现对芯片的无损吸取，且大幅度提高了生产效率。

主权项

一种转塔式倒装芯片拾取装置，其特征在于包括旋转驱动机构，第一回转轴(19)，第二回转轴(16)，进气管支座(23)，翻转盘(14)，吸嘴固定座(32)，直线微调机构；所述旋转驱动机构的输出轴与第一回转轴(19)的左端固连，第一回转轴(19)的右端与第二回转轴(16)的左端固连，翻转盘(14)固定在第二回转轴(16)的右端；旋转驱动机构可以驱动第一回转轴(19)、第二回转轴(16)及翻转盘(14)一同转动；进气管支座(23)套装在第二回转轴(19)上且通过弹性机构被压紧在第二回转轴(16)的左端面，多个进气管(25)固定在进气管支座(23)上，通过进气管支座(23)与第二回转轴(16)内部的导气通道(161)相通；翻转盘(14)上装配有多个吸嘴固定座(32)，并且翻转盘(14)与吸嘴固定座(32)之间通过滑轨副连接；各吸嘴固定座(32)上安装有吸嘴(31)；过渡气管(33)的左端与第二回转轴(16)的右端固定连接，右端由翻转盘(14)的中央通孔穿过并与吸嘴固定座(32)活动连接；第二回转轴(16)内部的导气通道(161)通过过渡气管(33)、吸嘴固定座(32)内的气流通道(321)与吸嘴(31)相通；回位弹簧(34)的一端与翻转盘(14)连接，另一端与吸嘴固定座(32)连接；吸嘴固定座(32)及其上的吸嘴(31)可在直线微调机构的作用下沿翻转盘(14)的径向移动，并在回位弹簧(34)的作用下回到初始位置。