[发明专利]一种超快透射电子显微镜系统及其使用方法

摘要

本发明提供一种超快透射电子显微镜系统，所述超快透射电子显微镜系统包括超快激光系统、电子枪、照明系统、成像系统、样品室、探测器和真空设备。所述超快透射电子显微镜系统能细致地测试样品在不同激光参数及环境温度下的超快结构变化过程，包括不同激发波长、脉冲宽度、激光功率、重复频率以及样品温度等，采集到的信号包括衍射、显微图像以及能量损失谱等，通过分析衍射峰位置、强度，图像衬度变化等分析超快结构变化过程。

主权项

1.一种超快透射电子显微镜系统，其特征在于，所述超快透射电子显微镜系统包括超快激光系统、电子枪、照明系统、成像系统、样品室、探测器和真空设备，其中：所述激光系统产生激光，将所述激光转换成探测激光和泵浦激光，并将所述探测激光引入所述电子枪，所述泵浦激光引入样品室；所述电子枪将所述探测激光转换为脉冲光电子并加速到指定电压；所述照明系统将所述脉冲光电子会聚到所述样品室中的样品上；所述样品室将所述泵浦激光照射到所述样品上；所述成像系统使会聚到所述样品上的所述脉冲光电子形成放大的显微图像或衍射图像；所述探测器记录所述显微图像或衍射图像；所述真空设备使所述电子枪、所述照明系统、所述成像系统和所述样品室保持高真空度；所述超快激光系统包括超快激光器、分束器、第一激光频率转换元件、第二激光频率转换元件、第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、延迟器和激光位置监控设备，其中：所述超快激光器输出激光，经过所述分束器后产生两束激光，一束激光经过所述第一激光频率转换元件产生探测激光，所述探测激光经过所述第一聚焦透镜进入所述电子枪，另一束激光经过所述第二激光频率转换元件产生泵浦激光，所述泵浦激光经过所述延迟器使得所述泵浦激光和所述探测激光有时间延迟，然后经过所述第二聚焦透镜，再经过激光位置监控设备以监控所述泵浦激光入射到所述样品上的光斑位置的偏移。