[发明专利]用于化学机械抛光的浆料组合物、其制法、抛光方法、制造半导体器件的方法和抛光设备有效
| 申请号： | 201610905553.0 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN106867411B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 金礼桓;白云揆;徐智训 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社;汉阳大学校产学协力团 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 金拟粲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及用于化学机械抛光的浆料组合物、其制法、抛光方法、制造半导体器件的方法和抛光设备。用于化学机械抛光工艺的浆料组合物包括分散介质、和具有结合至其表面的NO |
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| 搜索关键词： | 用于 化学 机械抛光 浆料 组合 制法 抛光 方法 制造 半导体器件 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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