[发明专利]测量厚度的方法、处理图像的方法及执行其的电子系统

摘要

公开了一种测量厚度的方法、处理图像的方法和执行其的电子系统。可以基于结构的原始图像来测量在结构中的第一层的厚度。可以在原始图像中识别第一层的第一边界。可以通过基于第一边界将原始图像转换为第一图像并且基于对第一图像滤波生成第二图像来识别在原始图像中基本难以辨识的第二边界。可以基于将原始图像的局部图像部分调整为使第一边界的标识与轴线对准来生成第一图像，使得第一图像包括与轴线基本平行地延伸的第一边界的标识。可以从第二图像识别第二边界，可以基于识别的第一边界与第二边界来确定层的厚度。

主权项

一种测量厚度的方法，所述方法包括以下步骤：获得结构的原始图像，所述结构包括第一层，第一层包括第一边界和第二边界，原始图像包括具有第一层的结构的图像，第二边界在原始图像中是难以辨识的；在原始图像中提取第一层的第一边界；基于提取的第一边界将原始图像转换为第一图像；基于对第一图像的滤波来生成第二图像；在第二图像中提取第一层的第二边界；以及基于在第二图像中提取的第二边界计算第一层的厚度。