[发明专利]用于光电倍增管阴极制备的大面积均匀镀膜方法、装置、系统以及光电倍增管的光电阴极及其制备方法

摘要

本发明提供一种用于光电倍增管阴极制备的大面积均匀镀膜方法、装置、系统以及光电倍增管的光电阴极及其制备方法。该装置包括：蒸发源、扩张机构、蒸发电极、液压机构和基底。蒸发源为固体金属材料，扩张机构可以在收缩时可以伸入开口较小的特殊形状的大面积待镀膜样品，伸入待镀开口后张开，将蒸发源均匀分散到各个位置，液压机构负责给扩张机构提供打开或收缩的动力，蒸发电极与蒸发源相连，提供蒸发电流。整个镀膜在真空系统提供的真空环境下进行。利用本发明可解决大尺寸不规则的内表面镀膜时均匀性较差的问题，提出了一种在玻壳内表面镀膜时采用多点蒸发的方法，解决镀膜均匀性问题。

主权项

1.一种用于光电倍增管阴极制备的大面积均匀镀膜装置，其特征在于，包括：基底，该基底被设置成可耦接到待镀膜球壳的开口位置，并限定了一沿着开口位置的基底平面；固定到基底上的液压机构，位于所述基底的中央位置并与所述基底平面垂直地布置，该液压机构具有固定到基底上的细长型缸体以及位于缸体内并可由缸体内的介质驱动在垂直于基底平面方向运动的活塞杆；扩张机构，与所述液压机构连接并可由所述活塞杆运动驱动而张开或者闭合；蒸发电极，包括正电极和负电极，固定在所述基底上；蒸发源，固定到所述扩张机构上，并连接至所述蒸发电极并由蒸发电极提供电流；其中，所述扩张机构在进入到所述待镀膜球壳内部之前为闭合状态，并且在进入到所述待镀膜球壳内部之后为张开状态；所述扩张机构包括第一固定板、第二固定板、连杆以及蒸发源固定机构，第一固定板固定在缸体外圆周上，第二固定板固定在活塞杆上并与活塞杆同步运动，所述连杆与蒸发源固定机构一一对应地设置形成可伸缩组合，蒸发源固定机构的具有一沿着其纵长轴线方向延伸的槽，在每个可伸缩组合中，蒸发源固定机构的一端铰接到第一固定板上，另一端固定蒸发源，连杆的一端铰接到第二固定板上，另一端连接到蒸发源固定机构的槽内，并且在所述活塞杆驱动第二固定板运动时，由第二固定板带动连杆运动并进一步拉动蒸发源固定机构在远离活塞杆方向或者接近活塞杆方向的运动，实现蒸发源固定机构的张开或者闭合。