[发明专利]用于光电倍增管阴极制备的大面积均匀镀膜方法、装置、系统以及光电倍增管的光电阴极及其制备方法有效
| 申请号： | 201610857529.4 | 申请日： | 2016-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN106571283B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 司曙光;乔芳建;孙建宁;任玲;陈辉;金睦淳;王兴超;曹宜起;王健;张正君 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/12 | 分类号： | H01J9/12;H01J40/06 |
| 代理公司： | 南京九致知识产权代理事务所(普通合伙) 32307 | 代理人： | 王培松 |
| 地址： | 650200 *** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光电倍增管 阴极 制备 大面积 均匀 镀膜 方法 装置 系统 光电 及其 | ||
【说明书】：
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