[发明专利]硅片多线切割后的脱胶工装

摘要

硅片多线切割后的脱胶工装，包括槽体，其特征在于，所述槽体的两侧安装有侧耐腐蚀硅胶防护挡条，侧耐腐蚀硅胶防护挡条的两端设置有工装侧板，支撑横梁安装在槽体的上面，加工夹具均布布设在支撑横梁的中间，所述槽体的底部设置有下耐腐蚀硅胶防护挡皮，所述槽体的内部均布布设有分检隔板。本发明的有益效果本发明整根硅棒装框脱胶，可完成约2000片硅片生产量，该装置的投入使用，大大提高了用户生产效率，整个脱胶过程无需人工接触硅片，做到了过程管控，将合格率提升到了98％，降低了碎片率，提高了经济效益，适合推广使用。

主权项

硅片多线切割后的脱胶工装，包括槽体(10)，其特征在于，所述槽体(10)的两侧安装有侧耐腐蚀硅胶防护挡条(5)，侧耐腐蚀硅胶防护挡条(5)的两端设置有工装侧板(4)，支撑横梁(1)安装在槽体(10)的上面，加工夹具均布布设在支撑横梁(1)的中间，所述槽体(10)的底部设置有下耐腐蚀硅胶防护挡皮(6)，所述槽体(10)的内部均布布设有分检隔板(7)。