[发明专利]一种超高纯铝靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201610846416.4 | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN106282945B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 冉继龙;李谢华;黄瑞银;徐始祥;罗筱雄;陈国生;詹开严;刘华春 | 申请（专利权）人： | 中铝瑞闽股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/04 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350015 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超高纯铝靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）将纯度大于99.999wt%的超高纯铝铸锭进行表面铣削，去除表面的氧化层；（2）将铸锭加热至230～400℃；（3）将加热后的铸锭进行10~20道次的热轧，单道次压下量控制在20~60mm，控制最后道次的终轧温度在350℃以下；（4）对完成热轧的铝板进行温度为200～300℃，保温时间为1～2h的退火处理；（5）对板材矫平后进行铣削加工，获得平均晶粒在80～150um的超高纯铝靶材。本发明可制备出纯度高，晶粒细小且均匀的靶材，织构取向一致，满足PVD的使用要求；同时工艺简单，易于操作，便于大规模工业化生产，有效的减小了能耗，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 超高纯铝 靶材 铸锭 制备 加热 热轧 大规模工业化生产 单道次压下量 晶粒 平均晶粒 退火处理 铣削加工 织构取向 氧化层 减小 矫平 铝板 铣削 终轧 去除 保温 能耗 | ||
【主权项】：
1.一种超高纯铝靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）将纯度大于99.999wt%的超高纯铝铸锭进行表面铣削，铣削量不小于3mm，去除表面的氧化层；（2）将铸锭加热至230～400℃；（3）将加热后的铸锭进行10~20道次的热轧，单道次压下量控制在20~60mm，通过控制变形量和冷却乳液来控制板材单道次热轧温度变化为3~8℃，控制最后道次的终轧温度在350℃以下；（4）对完成热轧的铝板进行温度为200～300℃，保温时间为1～2h的退火处理；（5）对板材矫平后进行铣削加工，获得平均晶粒在80～150um的超高纯铝靶材。
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