[发明专利]高频光电导衰减法载流子寿命测试仪在审
| 申请号： | 201610816544.4 | 申请日： | 2016-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN106370994A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 赵昭;于利红 | 申请（专利权）人： | 工业和信息化部电子工业标准化研究院 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京慧智兴达知识产权代理有限公司11615 | 代理人： | 韩龙 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高频光电导衰减法载流子寿命测试仪，包括承载装置，用于置放待测样品；测试装置，设置在承载装置的上方，包括高频系统和脉冲激光系统，可利用高频光电导衰减法对承载装置上的样品进行检测；信号采集处理装置，与测试装置中的高频系统相连，用于接收、处理样品检测时产生的光电导衰减信号。本发明中的高频光电导衰减法原理是基于电容耦合的方式，准确度高，同时此方法不需要切割样品，测量简便迅速。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 电导 衰减 载流子 寿命 测试仪 | ||
【主权项】：
一种高频光电导衰减法载流子寿命测试仪，其特征在于，包括：承载装置，用于置放待测样品；测试装置，设置在承载装置的上方，包括高频系统和脉冲激光系统，可利用高频光电导衰减法对承载装置上的样品进行检测；信号采集处理装置，与测试装置中的高频系统相连，用于接收、处理样品检测时产生的光电导衰减信号。
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